에피택시는 마이크로 전자공학 및 광전자공학 제조 공정에서 매우 중요한 위치를 차지하는 결정 성장 또는 재료 증착 기술을 의미합니다.
반도체 공정 전체는 반복적인 세정이 필요하며, 세정 공정은 반도체 산업 전반에 걸쳐 진행되며 전체 생산 공정의 30% 이상을 차지합니다.
