집적 회로 제조의 핵심 기술 및 장비에는 주로 리소그래피 기술 및 리소그래피 장비, 필름 성장 기술 및 장비, 화학 기계적 폴리싱이 포함됩니다.
고온 저항, 내마모성, 내식성, 높은 경도, 높은 정밀도 및 금속과 플라스틱에는 없는 기타 장점을 갖춘 특수 세라믹으로 인해...
