ASML은 1984년 4월 1일 ASM Lithography로 설립되었습니다. 필립스와 ASM International의 이번 합작 회사의 사명은 필립스가 개발한 웨이퍼 스테퍼인 PAS 2000을 상용화하는 것입니다.
레이저는 웨이퍼에 집속되어 광점을 비추고, 반사된 빛은 수신면에 다시 초점이 맞춰지며, 빛의 분석을 통해 실리콘 웨이퍼의 표면은...