빠르게 발전하는 반도체 기술 분야에서 물리 기상 증착(PVD)은 박막 증착 공정의 정밀도와 효율성을 달성하기 위한 핵심 도구입니다. 이 논문은 공동 ...
웨이퍼 흡착 기술은 사소해 보이지만 중요한 연결고리입니다. 에칭, 증착 또는 석판화 여부에 관계없이 웨이퍼는 효율적인 작업을 보장하기 위해 올바른 위치에 안정적이고 정밀하게 고정되어야 합니다.
