웨이퍼 개발 프로세스는 리소그래피 프로세스의 필수 단계이며 수십 년간의 혁신과 발전을 거쳤습니다. 그렇다면 일반적인 개발 방법은 몇 개나 있을까요? 그게 뭐야?
SiC 에피택셜 층의 고품질 결정 품질 특성으로 인해 에피택셜 층은 신뢰성을 보장하기 위해 순도가 높고 결함 밀도가 낮은 결정 구조를 가져야 합니다.
