레이저는 웨이퍼에 집속되어 광점을 비추고, 반사된 빛은 수신면에 다시 초점이 맞춰지며, 빛의 분석을 통해 실리콘 웨이퍼의 표면은...
정전척(ESC, e-Chuck)이라고도 불리는 정전흡착기는 정전흡착의 원리를 이용하여 흡착물체를 흡착 고정하는 고정구로, 정전기 척(ESC, e-Chuck)에 적합합니다.