웨이퍼 세정 Clean/Wet 장비 시장 분석

반도체 공정 전체는 반복적인 세정이 필요하며, 세정 공정은 전체 생산 공정의 30% 이상을 차지하는 반도체 산업 전반에 걸쳐 진행됩니다. 전체 반도체 산업 장비 시장의 생산량을 분석한 결과, 웨이퍼 가공 장비가 80%를 차지하고, 세정 단계의 총 생산 가치가 웨이퍼 가공 장비의 약 33%를 차지하며 세정 장비가 중요한 역할을 한다. 생산 라인의 합격률과 경제적 이익에 결정적인 영향을 미칩니다.

SEMI 데이터에 따르면 2020년 전 세계 웨이퍼 세정 장비 시장 규모는 37억 달러로 전체 장비의 5%를 차지합니다. 그 중 웨이퍼 세정장비 시장 3위 스크린일렉트로닉스가 있다. 스크린과 도쿄일렉트론(TEL), 램리서치(Lam)를 합쳐 웨이퍼 세정장비 시장의 87.7%를 점유하고 있다. Guangfa Securities의 반도체 세척 장비 산업 심층 연구 보고서에 따르면 2019년 메가톤 세척 기계에 대한 전 세계 수요는 221대이며, 메가톤 세척 기계 시장만이 6억 6,300만 달러에 도달할 수 있는 것으로 나타났습니다. Naura Chuang은 순수 기술이 1% 미만을 차지했습니다. 반도체 산업이 중국으로 이전됨에 따라 국내 시장 공간이 확대되고 잠재 고객 자원이 풍부하며 세척 기계는 최신 국내 공정을 포괄해야 합니다. 광파증권(Guangfa Securities)의 추정에 따르면 2019년부터 2023년까지 5년 동안 본토 기업의 청소 장비 시장 규모는 400억 위안 이상에 이를 것으로 예상됩니다. 위 표는 지에프증권이 측정한 물세탁기 시장점유율과 국내 시장점유율입니다.

SEMI에 따르면 이 회사는 전 세계 반도체 세정 장비 시장 점유율 45.1%를 차지하는 세정 장비 분야의 글로벌 리더입니다. 매출의 60%는 7nm 공정에 사용할 수 있는 SU3200 세정제에서 나옵니다. 1868년에 설립된 이 회사는 1975년에 1세대 웨이퍼 세정 장비를 개발했습니다. 이후 40년 동안 회사는 웨이퍼 세정 장비의 연구 개발 및 홍보에 주력하여 일본을 기반으로 하고 전 세계에 반도체 세정 장비를 제공했습니다. 매엽식 세정장비, 자동세정테이블, 세탁기 등 3대 세정장비 분야 시장점유율 세계 1위를 차지하고 있으며, 세정장비 기술의 선두주자이다. 현재 회사는 일본에 본사를 두고 있으며 미국, 유럽, 한국 및 중국의 베이징, 텐진, 우시, 우한, 대련, 선전 및 대만에 지사를 두고 있습니다. 청소 장비 판매 네트워크에는 Intel, TSMC, Samsung, SK Hynix, SMIC, Huahong 및 기타 국제적으로 유명한 거대 기업이 포함됩니다.

최신 세대의 세정 장비는 SU-3300으로 오랫동안 지배적이었던 SU 시리즈에서 파생되었으며 SU-2000, SU-3100, SU-3200을 시작으로 SU 시리즈는 반도체 칩 공정의 선두에 서 있습니다. 고급 청소 기계. 그림과 같이:

도쿄일렉트로닉스는 딘에 이어 2위의 웨이퍼 세정장비 기업으로, 2020년 6월 기준 전 세계적으로 세정장비 62,000세트 이상을 판매했으며, 초고순도 웨이퍼 11개를 꾸준히 생산하는 최초의 기업이다. 1963년에 설립된 Tokyo Electronics는 1968년 Thermco Products Corp와 합병하여 일본 최초의 반도체 제조 장비 제조업체가 되었으며, 같은 해 웨이퍼 세정 장비 설계 및 제조를 시작하여 1981년 최고의 세정 장비 공급업체가 되었습니다. 1989년- 1991년에는 Dean을 3회 연속으로 제치고 세정 장비 부문 1위를 차지했으며, 이후 20년 동안 도쿄전자는 세계 웨이퍼 세정 장비 왕좌에서도 확고히 2위를 차지했습니다.

Tokyo Electron의 최신 세정 장비 제품은 CELLESTA SCD입니다. CELLESTA 시리즈 제품은 PC 또는 NB에 사용되는 소형 칩, 복잡한 로직 칩 및 메모리 DRAM을 포함하여 반도체 공정에서 실리콘 웨이퍼를 세정하는 데 널리 사용됩니다. 그림과 같이:

Pangilin Semiconductor는 David K. Lam의 반도체 기술 회사로, 1980년에 설립되어 캘리포니아주 실리콘 밸리에 본사를 두고 있으며, ASML 및 AMAT에 이어 전체 점유율이 2위인 세계 최고의 웨이퍼 제조 및 서비스 공급업체 중 하나입니다. 세계에서 세 번째. 웨이퍼 세정장비 분야에서도 팽린반도체는 딘, 도쿄전자에 이어 세계 3위에 올라 2019년 세계 시장의 약 12.5%를 점유했다.

Pan Forest 청소 장비의 최신 세대는 Coronus HP입니다.

그림에서 볼 수 있듯이 이 웨이퍼 세척 시스템은 플라즈마 감금 기술을 사용하여 칩 영역을 효과적으로 보호합니다. 다양한 재료의 박막층과 잔류물을 현장에서 제거하고 웨이퍼 가장자리에서 원치 않는 재료를 선택적으로 제거하면 생산 효율성을 높이고 제품 수율을 향상시킬 수 있습니다. 금속막을 제거하면 후속 플라즈마 단계에서 아크 형성을 방지할 수 있습니다.

반도체는 자체 개발한 2가지 핵심기술인 SAPS(Space Alternative)를 보유하고 있다. 위상 변화) 및 TEBO(적시 에너지 버블 진동) 세정 기술. 두 사람은 메가사운드 에너지 분포 균일성과 파괴에너지 문제를 해결했으며, 메가사운드 클리닝 분야에서 다수의 핵심특허와 기술을 보유하고 있다. 칩 생산 과정에서 배출되는 다량의 고농도, 처리가 어려운 황산 폐수에 대응하여 Sheng Mei는 최초로 고온 황산 세척 장비인 UltracTahoe를 독자적으로 발명했습니다. 황산 사용량을 90% 줄여 반도체 산업이 환경에 미치는 영향을 줄였습니다.

그림에서 볼 수 있듯이 기존의 슬롯 클리닝 기술이 가지고 있는 문제점을 고려하여28nm 이하의 공정에서는 충분히 깨끗하지 않기 때문에 UltracTahoe는 먼저 슬롯의 칩을 세척한 다음 황산을 재사용하고 높은 선명도 세척 효과를 얻을 수 있는 단일 조각 세척 원리를 사용하여 차세대 복합 세척 장비를 개발했습니다. 환경 오염을 줄이고 막대한 비용을 절감할 수 있습니다.

Fountyl Technologies PTE Ltd,~이다반도체 제조산업을 중심으로, 제품은 다음과 같습니다: 핀 척, 다공성 세라믹 척, 세라믹 엔드이펙터, 세라믹사각빔, 세라믹 스핀들, 오신 것을 환영합니다접촉과 협상!