플라즈마는 1879년 William Crookes에 의해 처음 발견되었으며 1929년 Irving Langmuir에 의해 "플라즈마"라고 명명되었습니다. 칩 제조에 플라즈마를 적용하는 것은 매우 일반적이고 중요합니다.
반도체 제조의 핵심 단계인 웨이퍼 스크라이빙은 칩의 품질과 출력에 직접적인 영향을 미칩니다.