반도체 산업 사슬, 특히 3세대 반도체(와이드 밴드 갭 반도체) 산업 사슬에서 기판과 에피택셜 층이 있는데, 그 의미는 무엇입니까?
박막증착(Thin Film Deposition)은 기판 위에 나노 크기의 필름을 증착한 후 에칭, 폴리싱 등의 공정을 반복하여 전도성 또는 절연성 필름을 많이 적층하는 공정입니다.
