다공성 세라믹 척은 나노 다공성 진공 척이라고도 불리며, 특수한 나노 분말 제조 공정으로 생산된 균일한 고체 또는 진공 구를 말하며, 많은 수의 세라믹 척이 사용됩니다.
EUV 리소그래피용 포토레지스트 제조업체는 더 많아질 것입니다. 그러나 현재 시장은 일본 기업이 장악하고 있다.