세라믹 엔드 이펙터(세라믹 로봇 팔)는 반도체 공정 생산 전반에 걸쳐 실리콘 웨이퍼를 작동하고 운반하는 데 사용됩니다. 대형 웨이퍼를 처리할 수 있으며...
집적 회로 제조의 핵심 기술 및 장비에는 주로 리소그래피 기술 및 리소그래피 장비, 필름 성장 기술 및 장비, 화학 기계적 폴리싱이 포함됩니다.