반도체 제조는 현대 과학 기술 발전의 초석입니다. 업계는 더 작고, 더 빠르며, 더 효율적인 집적 회로를 지속적으로 추구하고 있습니다.
정전척(ESC, e-Chuck)이라고도 불리는 정전흡착기는 정전흡착의 원리를 이용하여 흡착물체를 흡착 고정하는 고정구로, 정전기 척(ESC, e-Chuck)에 적합합니다.