특수 다공성 세라믹 소재의 기공 크기는 2~3 미크론으로 큰 진공력과 부분 면적 흡착으로 막힘이 어렵습니다. 공중부양으로도 사용할 수 있습니다.
ASML은 1984년 4월 1일 ASM Lithography로 설립되었습니다. 필립스와 ASM International의 이번 합작 회사의 사명은 필립스가 개발한 웨이퍼 스테퍼인 PAS 2000을 상용화하는 것입니다.
