ASML은 1984년 4월 1일 ASM Lithography로 설립되었습니다. 필립스와 ASM International의 이번 합작 회사의 사명은 필립스가 개발한 웨이퍼 스테퍼인 PAS 2000을 상용화하는 것입니다.
EUV 리소그래피용 포토레지스트 제조업체는 더 많아질 것입니다. 그러나 현재 시장은 일본 기업이 장악하고 있다.
