정보기술의 급속한 발전과 고효율 전자소자의 수요 증가로 인해 탄화규소(SiC)로 대표되는 3세대 반도체 소재...
10년 넘게 침지 리소그래피는 반도체 제조의 주요 노광 기술이었습니다.
