고밀도 세라믹 진공 척 (다공성 세라믹 진공 척)은 기공 크기가 2 ~ 3 미크론 인 특수 다공성 세라믹 소재로 차단하기 쉽지 않고, 높은 진공력, 일부 영역 광고...
박막증착(Thin Film Deposition)은 기판 위에 나노 크기의 필름을 증착한 후 에칭, 폴리싱 등의 공정을 반복하여 전도성 또는 절연성 필름을 많이 적층하는 공정입니다.
