EUV 리소그래피용 포토레지스트 제조업체는 더 많아질 것입니다. 그러나 현재 시장은 일본 기업이 장악하고 있다.
SiC 보트는 탄화규소 보트입니다. 실리콘 카바이드 보트는 고온 액세서리의 고온 처리를 위해 웨이퍼가 장착된 퍼니스 튜브에 사용됩니다. 탄화규소 때문에...
