SiC 에피택셜 층의 고품질 결정 품질 특성으로 인해 에피택셜 층은 신뢰성을 보장하기 위해 순도가 높고 결함 밀도가 낮은 결정 구조를 가져야 합니다.
반도체 제조 공정은 실리콘 웨이퍼를 가공하여 반도체 칩으로 만드는 공정입니다. 크게 앞부분과 뒷부분으로 나눌 수 있습니다.