웨이퍼 제조 공정에서 웨이퍼는 특정 온도까지 가열되어야 하며, 웨이퍼 온도 균일성은 매우 엄격한 요구 사항을 갖습니다.
웨이퍼 흡착 기술은 사소해 보이지만 중요한 연결고리입니다. 에칭, 증착 또는 석판화 여부에 관계없이 웨이퍼는 효율적인 작업을 보장하기 위해 올바른 위치에 안정적이고 정밀하게 고정되어야 합니다.
