반도체 기술의 발전은 녹색저탄소 사회를 건설하는 중요한 원동력입니다. 동시에 반도체 산업 자체도 적극적으로 gre...
빠르게 발전하는 반도체 기술 분야에서 물리 기상 증착(PVD)은 박막 증착 공정의 정밀도와 효율성을 달성하기 위한 핵심 도구입니다. 이 논문은 공동 ...