ASML은 1984년 4월 1일 ASM Lithography로 설립되었습니다. 필립스와 ASM International의 이번 합작 회사의 사명은 필립스가 개발한 웨이퍼 스테퍼인 PAS 2000을 상용화하는 것입니다.
집적 회로 제조의 핵심 기술 및 장비에는 주로 리소그래피 기술 및 리소그래피 장비, 필름 성장 기술 및 장비, 화학 기계적 폴리싱이 포함됩니다.