정전척(ESC, e-Chuck)이라고도 불리는 정전흡착기는 정전흡착의 원리를 이용하여 흡착물체를 흡착 고정하는 고정구로, 정전기 척(ESC, e-Chuck)에 적합합니다.
엑스레이는 생산과 생활 전반에 널리 활용되고 있어 반도체 제조의 중요성은 자명하다. 오늘은 반도체 제조에 X-ray를 적용하는 방법에 대해 이야기해보겠습니다.
