반도체 장비는 전자 산업의 발전을 지원하는 초석이지만, 반도체 산업 체인의 업스트림 시장 공간은 가장 광범위하고 가장 중요합니다.
웨이퍼 제조 공정에서 웨이퍼는 특정 온도까지 가열되어야 하며 웨이퍼 온도 균일성은 매우 엄격한 요구 사항을 갖습니다.