Xane
Products
Çûka elektrostatîk bi lihevhatî, tîrêjiya bilind, hêza avahîsaziyê ya bilind bi xwerû
Features
Compatibility | Xweserkirin | Bilind-Density | Hêza Avahiya Bilind | Dema Radestkirina Bilez | Cost-bandor
Applications
Lon-implantation | Fîlma Nazik | Etch | Pêşveçûna Pêvajoyê | Equipment Design
Design and Manufacture
12 inch Fab ji bo verastkirina performansa rastîn, peydakirina nûjenkirin û tamîrkirinê, û verastkirina pêşkeftin û sêwiranê hatî peyda kirin.
Digel pêşkeftina alavên pêvajoyê û teknolojiya pêvajoyê ya nîvconductor û çerxa yekbûyî, çîpên elektrostatîk ên kevneşopî ku materyalên polîmer ên organîk, oksîtên metal û materyalên seramîk ên wekî dielektrîkê bikar tînin bi materyalên wekî waferên silicon, yaqût û karbîd silicon re bi tevahî ne lihevhatî ne. Ji ber vê yekê, çîpên elektrostatîk ên ku bi girêkên wafer ên nîvconductor yên nifşê yekem, duyemîn û sêyemîn re hevaheng in dê hêdî hêdî pêşve bibin.
Cûk / Germahiya Polîmer Elektrostatîk
Materyalên dielektrîkî yên polîmer (Polymer) naha materyalê çuka elektrostatîk a herî berfireh tê bikar anîn, pêvajoya amadekirina wê di heman demê de herî gihîştî ye, materyalê dielektrîkî ya polîmer piştî dermankirina guheztina polîmer, elektrîkî, mekanîkî, berxwedana germahiyê, taybetmendiyên berxwedana halojenê dê pir çêtir bibe. Materyalên dielektrîkê ji hêla operasyonên din ên yekbûyî ve tê xêzkirin, û dûv re ji hêla barkêşiya giran a valahiya pirqonaxê ve tê xêzkirin, û di navbera elektrodên hundurîn de qatek însulasyona dielektrîkî ya hişk tê çêkirin.
Polymer Electrostatic Chuck
Teknolojiya guheztina polîmer ji bo bidestxistina berxwedana girseya bilind û domdariya dielektrîkî ya têkildar, û bidestxistina hêza girtina domdartir tê bikar anîn.
Materyalên dielektrîkî yên bi tîrêjiya bilind dikarin xetera kêşeya perçeyan kêm bikin û tevgera ion kêm bikin.
Cihêrengiya hêmanên girêkdanê dikare bi girtina waferên ji materyalên cihêreng re hevaheng be.
Di atmosferên halojen û plazmayê de berxwedana korozyonê ya hêja.
Performansa lêçûna bilind, heyama pejirandina kurt, ji bo pêşkeftina pêvajoya hilberê û verastkirina pêşkeftina alavên nû maqûl e.
Chuck Electrostatic Polymer Bi Heater
Ew dikare sêwirana gelek deverên germahiya germkirinê (heta 20 deverên germahiyê) nas bike, û xwedan yekrêziya germahiya germkirinê ya baş e (±5%℃@150℃).
Teknolojiya lamînkirina valahiya ji bo bidestxistina dendika pir bilind û germahiya heya 200 ° C tê bikar anîn.
Kevirê germkirinê yê yekgirtî, bi rêjeyek firehtir a mîhengên germahiyê.
Performansa lêçûna bilind, heyama pejirandina kurt, ji bo pêşkeftina pêvajoya hilberê û verastkirina pêşkeftina alavên nû maqûl e.
Seramîk Cûk / Germkirina Elektrostatîk
Teknolojiya koagulasyona seramîk di pêşkeftina çîp û germkerên seramîk ên elektrostatîk ên seramîk ên alumina/nîtrîda aluminumê de pêvajoyek tevlihevkirinê ya çêtir e. Bingeha wê ev e ku meriv cûrbecûr tozên seramîk ên bi diameter nanometer bikar bîne, ku bi rêjeyek diyarkirî bi navgînek tevlihevkirina yekta û pêvajoyek tevlihevkirinê ve tê tevlihev kirin. Çokên elektrostatîk ên seramîk ên bi tîrêjiya bilind, strukturên krîstal ên domdar û belavkirina berxwedanê ya yekbûyî bi hin kelek germahiya ziravkirinê re di alavên sinterkirinê de hatin rijandin. Çûka statîk a ku ji hêla teknolojiya koagulasyona seramîk ve hatî çêkirin xwedan tîrêjek bilind, strukturek krîstal a domdar û belavkirina berxwedanê ya yekreng e, û dikare fonksiyona asayîkirina çîpê di hawîrdora dijwar de di bin valahiya zêde, plazma û halojenê de pêk bîne.
Al₂O3 Chuck Electrostatic
Berxwedana voltê ji hêla teknolojiya seramîk a koagulasyonê û pêvajoya hev-agirkirinê ve tê kontrol kirin da ku hêzek girtina dirêjtir bistîne.
Struktura hundurîn a sinterkirina germahiya bilind zexm e û avahiya krîstal aram e, û kapasîteya hilgirtina navberek germahiya mezintir dikare were bidestxistin.
Mêjûkirina hev-agirkirina yekbûyî koça ion kêm dike.
Operasyona domdar di atmosfera valahiya halojen a plazmayê de.
AlN Chuck Electrostatic
Bi kontrolkirina pêkhate û rêjeya maddeya betonê re, berxwedêriya qebareyê dikare were kontrol kirin û kapasîteya hilgirtinê di navberek germahiya mezintir de dikare were bidestxistin.
Dabeşkirina devera germahiyê ya yekgirtî ji hêla teknolojiya sinterkirinê û pêvajoya hev-agirkirina seramîkên beton ve tê peyda kirin.
Mêjûkirina hev-agirkirina yekbûyî da ku kalîteya hilberê zêde bike.
Operasyona domdar di atmosfera valahiya halojen a plazmayê de.
Seramîk Chuck Electrostatic Bi Heater
Ew dikare sêwirana gelek deverên germahiya germkirinê fam bike, û xwedan yekrengiya germahiya germkirinê ya baş e (±7.5%℃@350℃).
Teknolojiya sinterkirina lamînasyona valahiya tê bikar anîn da ku bigihîje germahiyên pir bilind û germkirinê heya 550℃.
Mêjûkirina hev-agirkirina yekbûyî da ku kalîteya hilberê zêde bike.
Operasyona domdar di atmosfera valahiya halojen a plazmayê de.
Cûk / Germkarê Tîpa Elektrostatîk a Kompleks
Dikare bi silicon, galium arsenide, silicon carbide, yaqûtê ya kelandina waferê re hevaheng be, dikare lêçûnên guheztina têl ên hilberînerên amûr û bikarhênerên dawîn kêm bike. Li ser bingeha teknolojiya seramîk a beton û teknolojiya guheztina polîmerê, karanîna lamînasyona valahiya yekbûyî û teknolojiya girêdana germ dikare berxwedana germî ya hundurîn a şîrê elektrostatîk kêm bike, yekdestiya germahiya hundurîn bi dest bixe, qatek însulasyona dielektrîkî ya qels ava bike da ku performansa berxwedana koçberiya ion çêtir bike.
Cûka elektrostatîk a tîpa tevlihev
Bikaranîna teknolojiya guheztina seramîk û polîmer a betonê, xwedan avahiyek dagirtî ya bilind û berdana gazê kêmtir e.
Kontrola hişktir a qatê dielektrîkê û stûrahiya banka elektrodê.
Cûrbecûrbûna tiştên girêkdanê dikare bi girtina waferên cihêreng re hevaheng be.
Berxwedana laş dikare bi duristî were kontrol kirin da ku kapasîteya hilgirtina elektrostatîk a bihêztir bistîne.
Performansa lêçûna bilind, heyama pejirandina kurt, ji bo pêşkeftina pêvajoya hilberê û verastkirina pêşkeftina alavên nû maqûl e.
Cûka elektrostatîk a tevlihev a bi germahiyê
Ew dikare sêwirana gelek deverên germahiya germkirinê nas bike, û xwedan yekrengiya germahiya germkirinê ya baş e (±3.5%℃@150℃).
Teknolojiya lamînkirina valahiya ji bo bidestxistina dendika pir bilind û germahiya heya 200 ° C tê bikar anîn.
Kevirê germkirinê yê yekgirtî, bi rêjeyek firehtir a mîhengên germahiyê.
Performansa lêçûna bilind, heyama pejirandina kurt, ji bo pêşkeftina pêvajoya hilberê û verastkirina pêşkeftina alavên nû maqûl e.