Tîrêja çargoşe û rêça rêber ji bo platforma tevgerê ya ultra-rast û alavên tespîtê

Meclisa çîkeya valahiya wekî mînak bigire, materyalê ku di serdema pêşîn a 2 înç û 4 înç de tê bikar anîn alumînyûmê hewavaniyê ye, lê ew di serdema mezinahiya mezin de rûbirûyê şûşeya zexmbûna pir-bilind (ji 1 mîkron çêtir e) bûye. wafers (8 "û bêtir ji 8"), ku nekare pêwendiya hişk a şilbûna ultra-bilind pêk bîne û tê rakirin. Dûv re, materyalê alûmînayê wekî veguhêz, modula wê ya elastîk, giraniya sivik, gihandina termal û rêjeya berfirehbûnê û dwarfiya karbîd a silicon, lê ne li ser hin şermê; Piştî pêşkeftina di teknolojiya amadekirina seramîkên karbîd ên sîlîkonê yên bi şeklê taybetî yên mezin û tevlihev de, pêkhateyên ku di nav wan de bingeha xebata pir-rast-rast, rêberiya hewaya hewayê ya ultra-rast, û milê veguheztina wafer-ê hatine nûve kirin.

Ne tenê parçeyên seramîk ên karbîd silicon ên jorîn ên ku li ser rûtbûn, paralelîzm, û vertîkalîteyê nîşaneyên hişk ên pir-bilind bi cih tînin, ji bo beşên seramîk ên karbîdê sîlîkonê yên paqij-paqij ên ku ji bo belavkirina wafer, dopîng, pêvajoyên çekirinê di pîşesaziya nîvconductor de hewce ne. , nemaze di teknolojiya amadekirina materyalê CVDSiC-ya paqij-paqijî de, xwedan teknolojiyek pêvajoyek gihîştî ye, û çêkirina keştiya krîstal a karbîd a silicon-karbîd a seramîk a paqij-paqijî, plakaya hilgirtina seramîk a silicon carbide, platforma tevgera hewayê ya seramîk a silicon karbîd, platforma tevgera hewayê ya seramîk a silicon karbîd, karbîd silicon ultra -Platforma tevgerê ya rast, rêça rêberiya karbîdê silicon, hêmanên rêhesinê yên karbîd ên silicon.

Di pêşerojê de, em ê serîlêdana materyalên karbîdê silicon di pîşesaziya nîvconductor de bêtir berfireh bikin û beşdarî nûvekirina zincîra pîşesaziya nîvconductor û pîşesaziya seramîk a silicon carbide bibin. Hêmanên seramîk ên silicon carbide yên rastîn lêkolîna serbixwe û pêşvebirina serîlêdana navxweyî ya Chinaînê nû dest pê kiriye, bi pêşkeftina bihêz a pîşesaziya nîvconductor re, dê daxwaziya bazarê ji bo vî rengî strukturên seramîk ên seramîkî her ku diçe mezintir bibe, karbîda silicon bi fizîkî û xweya xweya hêja. taybetmendiyên kîmyewî, di pîşesaziya nîvconductor de perspektîfên serîlêdanê yên berfireh hene.