Үй
Продукциялар
0102030405
ылайыкташтырылган менен шайкештиги, жогорку тыгыздыктагы, бийик структуралык күч менен электростатикалык патрон
Өзгөчөлүктөрү
Шайкештик | Настройка | Жогорку тыгыздык | Жогорку структуралык бекемдик | Тез жеткирүү убактысы | үнөмдүү
Тиркемелер
Лон-имплантация | Жука тасма | Etch | Процессти өнүктүрүү | Жабдууларды долбоорлоо
Дизайн жана өндүрүш
12 дюймдук Fab иш жүзүндө аткарууну текшерүү, калыбына келтирүү жана оңдоону камсыз кылуу жана иштеп чыгууну жана дизайнды текшерүү үчүн жеткирилди.
Жарым өткөргүч жана интегралдык микросхемалардын технологиялык жабдуулары жана технологиясынын өнүгүшү менен органикалык полимердик материалдарды, металл оксиддерин жана диэлектрик катары керамикалык материалдарды колдонгон салттуу электростатикалык патрондор кремний пластиналары, сапфир жана кремний карбиди сыяктуу материалдар менен толук шайкеш келбейт. Ошентип, биринчи, экинчи жана үчүнчү муундагы жарым өткөргүч пластинкалардын кармагычтары менен шайкеш келген электростатикалык патрондор акырындык менен өнүгүп баштайт.
Полимердик электростатикалык чака / жылыткыч
Полимердик диэлектрдик материал (Полимер) азыркы учурда эң көп колдонулган электростатикалык патрон материалы болуп саналат, аны даярдоо процесси да эң жетилген, полимердик диэлектрик материал полимерди өзгөртүүдөн кийин, электрдик, механикалык, температурага туруктуулук, галогенге каршылык касиеттери абдан жакшырат. Диэлектрик материал башка интегралдык операциялар менен калыпталат, андан кийин көп баскычтуу вакуумдук оор жүк менен катмарланат жана ички электроддордун ортосунда тыгыз диэлектрик изоляция катмары пайда болот.
Полимердик электростатикалык чака
Полимерди модификациялоо технологиясы жогорку көлөмдөгү каршылыкка жана салыштырмалуу диэлектрик туруктуулугуна жетишүү жана туруктуу кысуучу күчтү алуу үчүн колдонулат.
Жогорку тыгыздыктагы диэлектрдик материалдар бөлүкчөлөрдүн пайда болуу коркунучун азайтып, иондордун кыймылдуулугун азайтат.
Кысуучу объекттердин көп түрдүүлүгү ар кандай материалдардан жасалган пластинкаларды кысуу менен шайкеш келиши мүмкүн.
Галогендик жана плазмалык атмосферада коррозияга мыкты туруктуулук.
Жогорку наркы аткаруу, кыска кабыл алуу мөөнөтү, продукт жараянын иштеп чыгуу жана жаңы жабдууларды иштеп чыгуу текшерүү үчүн ылайыктуу.
Полимердик электростатикалык патрон жылыткычы бар
Ал бир нече жылытуу температура зоналарынын схемасын (20 температуралык зонага чейин) ишке ашыра алат жана жакшы жылытуу температурасынын бирдейлигине ээ (± 5% ℃ @ 150 ℃).
Вакуумдук ламинаттоо технологиясы өтө жогорку тыгыздыкка жана 200°Сге чейин жылытууга жетишүү үчүн колдонулат.
Температура ийри сызыгынын Орнотууларынын кеңири диапазону менен бирдиктүү жылытуу ийри сызыгы.
Жогорку наркы аткаруу, кыска кабыл алуу мөөнөтү, продукт жараянын иштеп чыгуу жана жаңы жабдууларды иштеп чыгуу текшерүү үчүн ылайыктуу.
Керамика Электростатикалык Чак / Жылыткыч
Керамикалык коагуляция технологиясы алюминий/алюминий нитриди керамикалык электростатикалык патрондорду жана жылыткычтарды иштеп чыгууда жакшыртылган агломерация процесси. Анын өзөгү уникалдуу аралаштыруу жабдуулары жана аралаштыруу процесси аркылуу белгилүү бир пропорцияда аралашкан ар кандай нанометр диаметри керамикалык порошокторду колдонуу болуп саналат. Керамикалык электростатикалык патрондор жогорку тыгыздыктагы, туруктуу кристалл структурасы жана бирдей каршылык бөлүштүрүү менен агломерациялоочу жабдууларда белгилүү агломерация температурасы ийри сызыгы менен агломерацияланган. Керамикалык коагуляция технологиясы менен өндүрүлгөн статикалык патрон жогорку тыгыздыкка, туруктуу кристаллдык түзүлүшкө жана бирдиктүү көлөмдүн каршылык бөлүштүрүүгө ээ жана жогорку вакуум, плазма жана галоген астында катаал чөйрөдө чиптин нормалдуу кысуу функциясын ишке ашыра алат.
Al₂O₃ Электростатикалык Чак
Көлөмдүн каршылыгы коагуляциялык керамикалык технология жана узак кармоочу күчтү алуу үчүн биргелешип күйгүзүү процесси менен башкарылат.
Жогорку температура агломерациялоонун ички түзүлүшү тыгыз жана кристаллдык структура туруктуу жана чоңураак температура аралыгын кармап туруу мүмкүнчүлүгүн алууга болот.
Интегралдык кошо күйгүзүүчү калыптоо иондордун миграциясын азайтат.
Плазма галогендик вакуумдук атмосферада туруктуу иштөө.
AlN Электростатикалык Чак
Бетон материалынын курамын жана пропорциясын көзөмөлдөө менен көлөмдүн каршылыгын көзөмөлдөөгө жана чоңураак температура аралыгында кармап туруу мүмкүнчүлүгүн алууга болот.
Температура зонасын бирдей бөлүштүрүү бетон керамикасын агломерациялоо технологиясы жана биргелешип күйгүзүү процесси менен камсыз кылынат.
Продукциянын сапатын максимум жогорулатуу учун комплекстуу ко-токтотуу.
Плазма галогендик вакуумдук атмосферада туруктуу иштөө.
Керамика Электростатикалык Чак жылыткычы менен
Ал бир нече жылытуу температура зоналарынын схемасын ишке ашыра алат жана жылытуу температурасынын бирдейлигине ээ (± 7,5% ℃ @ 350 ℃).
Вакуумдук ламинаттоо агломерациялоо технологиясы 550 ℃ чейин өтө жогорку тыгыздашуу жана жылытуу температурага жетүү үчүн колдонулат.
Продукциянын сапатын максимум жогорулатуу учун комплекстуу ко-токтотуу.
Плазма галогендик вакуумдук атмосферада туруктуу иштөө.
Татаал типтеги электростатикалык патрон / жылыткыч
Кремний, галлий арсениди, кремний карбиди, вафли кысуу сапфири менен шайкеш келиши мүмкүн, жабдууларды өндүрүүчүлөрдүн жана акыркы колдонуучулардын зым өзгөртүү чыгымдарын азайтышы мүмкүн. Бетон керамикалык технология жана полимердик модификациялоо технологиясынын негизинде, интегралдык вакуумдук ламинациялоо жана ысык байланыш технологиясын колдонуу электростатикалык соргучтун ички жылуулук каршылыгын азайтып, ички температуранын бирдейлигине жетишип, ион миграциясынын туруктуулугун жакшыртуу үчүн тыгыз диэлектрик жылуулоо катмарын түзө алат.
Татаал типтеги электростатикалык патрон
бетон керамикалык жана полимердик модификациялоо технологиясын колдонуу, жогорку тыгыз түзүлүшкө ээ жана аз газ чыгаруу.
Диэлектрик катмарын жана электроддун калыңдыгын катуураак көзөмөлдөө.
Кысуучу объектилердин ар түрдүүлүгү ар кандай пластиналарды кысуу менен шайкеш келиши мүмкүн.
Дененин каршылыгы күчтүүрөөк электростатикалык кармап туруу мүмкүнчүлүгүн алуу үчүн так көзөмөлдөнсө болот.
Жогорку наркы аткаруу, кыска кабыл алуу мөөнөтү, продукт жараянын иштеп чыгуу жана жаңы жабдууларды иштеп чыгуу текшерүү үчүн ылайыктуу.
Жылыткычы бар татаал типтеги электростатикалык патрон
Ал бир нече жылытуу температура зоналарынын схемасын ишке ашыра алат жана жылытуу температурасынын бирдейлигине ээ (± 3,5% ℃ @ 150 ℃).
Вакуумдук ламинаттоо технологиясы өтө жогорку тыгыздыкка жана 200°Сге чейин жылытууга жетишүү үчүн колдонулат.
Температура ийри сызыгынын Орнотууларынын кеңири диапазону менен бирдиктүү жылытуу ийри сызыгы.
Жогорку наркы аткаруу, кыска кабыл алуу мөөнөтү, продукт жараянын иштеп чыгуу жана жаңы жабдууларды иштеп чыгуу текшерүү үчүн ылайыктуу.