Namai
Produktai
Elektrostatinis griebtuvas su suderinamumu, didelio tankio, aukščio konstrukcijos stiprumas ir pritaikytas
funkcijos
Suderinamumas | Tinkinimas | Didelio tankio | Didelis konstrukcinis stiprumas | Greitas pristatymo laikas | Taupus
Programos
Ilgalaikis implantavimas | Plona plėvelė | Išgraviruoti | Proceso plėtra | Įrangos projektavimas
Dizainas ir gamyba
12 colių Fab pristatomas siekiant patikrinti faktinį veikimą, užtikrinti regeneraciją ir remontą bei patikrinti kūrimą ir dizainą.
Plėtojant puslaidininkių ir integrinių grandynų proceso įrangą ir proceso technologijas, tradiciniai elektrostatiniai griebtuvai, naudojantys organines polimerines medžiagas, metalų oksidus ir keramines medžiagas kaip dielektrikus, nėra visiškai suderinami su tokiomis medžiagomis kaip silicio plokštelės, safyras ir silicio karbidas. Todėl palaipsniui bus kuriami elektrostatiniai griebtuvai, suderinami su pirmosios, antrosios ir trečiosios kartos puslaidininkiniais plokštelių griebtuvais.
Polimerinis elektrostatinis griebtuvas / šildytuvas
Polimerinė dielektrinė medžiaga (polimeras) šiuo metu yra plačiausiai naudojama elektrostatinė griebtuvo medžiaga, jos paruošimo procesas taip pat yra labiausiai subrendęs, polimerinė dielektrinė medžiaga po polimero modifikavimo apdorojimo, elektrinės, mechaninės, atsparumo temperatūrai, atsparumo halogenams savybės bus labai pagerintos. Dielektrinė medžiaga yra modeliuojama kitomis integruotomis operacijomis, o po to sluoksniuojama daugiapakopiu vakuuminiu dideliu krūviu, o tarp vidinių elektrodų susidaro tankus dielektrinės izoliacijos sluoksnis.
Polimerinis elektrostatinis griebtuvas
Polimero modifikavimo technologija naudojama didesnei tūrinei varžai ir santykinei dielektrinei konstantai pasiekti bei stabilesnei suspaudimo jėgai pasiekti.
Didelio tankio dielektrinės medžiagos gali sumažinti kietųjų dalelių riziką ir sumažinti jonų mobilumą.
Tvirtinimo objektų įvairovė gali būti suderinama su skirtingų medžiagų plokštelių suspaudimu.
Puikus atsparumas korozijai halogeninėje ir plazminėje atmosferoje.
Didelės sąnaudos, trumpas priėmimo laikotarpis, tinkamas gaminių procesų kūrimui ir naujos įrangos kūrimo patikrinimui.
Polimerinis elektrostatinis griebtuvas su šildytuvu
Jis gali realizuoti kelių šildymo temperatūros zonų išdėstymą (iki 20 temperatūros zonų) ir turi gerą šildymo temperatūros vienodumą (± 5% ℃ @ 150 ℃).
Vakuuminio laminavimo technologija naudojama itin dideliam tankiui pasiekti ir kaitinimo temperatūrai iki 200°C.
Vienoda šildymo kreivė su platesniu temperatūros kreivės nustatymų diapazonu.
Didelės sąnaudos, trumpas priėmimo laikotarpis, tinkamas gaminių procesų kūrimui ir naujos įrangos kūrimo patikrinimui.
Keramika, elektrostatinis griebtuvas / šildytuvas
Keramikos koaguliacijos technologija yra patobulintas sukepinimo procesas kuriant aliuminio oksido/aliuminio nitrido keramikos elektrostatinius griebtuvus ir šildytuvus. Jo esmė – naudoti įvairius nanometrų skersmens keraminius miltelius, kurie tam tikra proporcija maišomi naudojant unikalią maišymo įrangą ir maišymo procesą. Keraminiai elektrostatiniai griebtuvai, turintys didelį tankį, stabilią kristalų struktūrą ir vienodą varžos pasiskirstymą, buvo sukepinti su tam tikra sukepinimo temperatūros kreive sukepinimo įrangoje. Statinis griebtuvas, pagamintas naudojant keraminės koaguliacijos technologiją, turi didelį tankį, stabilią kristalų struktūrą ir vienodą tūrio varžos pasiskirstymą ir gali atlikti įprastą lusto suspaudimo funkciją atšiaurioje aplinkoje esant dideliam vakuumui, plazmai ir halogenams.
Al₂O3 elektrostatinis griebtuvas
Tūrio varža kontroliuojama koaguliacinės keramikos technologija ir bendro degimo procesu, kad būtų užtikrinta ilgesnė laikymo jėga.
Aukštos temperatūros sukepinimo vidinė struktūra yra tanki, o kristalų struktūra yra stabili, todėl galima gauti didesnį temperatūros intervalą.
Integruotas bendro degimo liejimas sumažina jonų migraciją.
Ilgalaikis veikimas plazminėje halogeninėje vakuuminėje atmosferoje.
AlN elektrostatinis griebtuvas
Reguliuojant betono medžiagos sudėtį ir proporciją, galima kontroliuoti tūrio varžą ir išgauti išlaikymą didesniame temperatūrų intervale.
Tolygų temperatūros zonos pasiskirstymą užtikrina betono keramikos sukepinimo technologija ir bendro degimo procesas.
Integruotas bendro degimo liejimas, siekiant maksimaliai padidinti gaminio kokybę.
Ilgalaikis veikimas plazminėje halogeninėje vakuuminėje atmosferoje.
Keramika, elektrostatinis griebtuvas su šildytuvu
Jis gali realizuoti kelių šildymo temperatūros zonų išdėstymą ir turi gerą šildymo temperatūros vienodumą (± 7,5% ℃ @ 350 ℃).
Vakuuminio laminavimo sukepinimo technologija naudojama itin aukštai tankinimo ir šildymo temperatūrai iki 550 ℃ pasiekti.
Integruotas bendro degimo liejimas, siekiant maksimaliai padidinti gaminio kokybę.
Ilgalaikis veikimas plazminėje halogeninėje vakuuminėje atmosferoje.
Kompleksinio tipo elektrostatinis griebtuvas / šildytuvas
Gali būti suderinamas su siliciu, galio arsenidu, silicio karbidu, plokštelių tvirtinimo safyru, gali sumažinti įrangos gamintojų ir galutinių vartotojų laidų keitimo išlaidas. Remiantis betono keramikos technologija ir polimerų modifikavimo technologija, integruoto vakuuminio laminavimo ir karšto sujungimo technologijos naudojimas gali sumažinti elektrostatinio siurbtuko vidinę šiluminę varžą, pasiekti vidinės temperatūros vienodumą, suformuoti tankų dielektrinės izoliacijos sluoksnį, kad pagerintų jonų migracijos atsparumą.
Sudėtingo tipo elektrostatinis griebtuvas
Naudojant betono keramikos ir polimerų modifikavimo technologiją, yra didesnė tankesnė struktūra ir mažesnis dujų išsiskyrimas.
Griežtesnis dielektrinio sluoksnio ir elektrodų bloko storio valdymas.
Tvirtinimo objektų įvairovė gali būti suderinama su skirtingų plokštelių suspaudimu.
Kūno varža gali būti tiksliai kontroliuojama, kad būtų užtikrintas stipresnis elektrostatinis laikymo pajėgumas.
Didelės sąnaudos, trumpas priėmimo laikotarpis, tinkamas gaminių procesų kūrimui ir naujos įrangos kūrimo patikrinimui.
Sudėtingo tipo elektrostatinis griebtuvas su šildytuvu
Jis gali realizuoti kelių šildymo temperatūros zonų išdėstymą ir turi gerą šildymo temperatūros vienodumą (± 3,5% ℃ @ 150 ℃).
Vakuuminio laminavimo technologija naudojama itin dideliam tankiui pasiekti ir kaitinimo temperatūrai iki 200°C.
Vienoda šildymo kreivė su platesniu temperatūros kreivės nustatymų diapazonu.
Didelės sąnaudos, trumpas priėmimo laikotarpis, tinkamas gaminių procesų kūrimui ir naujos įrangos kūrimo patikrinimui.