Kvadratinis pluoštas ir kreipiamasis bėgis, skirtas itin tiksliam judesio platformai ir aptikimo įrangai

Pavyzdžiui, vakuuminio griebtuvo agregatas, ankstyviausioje 2 colių ir 4 colių plokštelių eroje panaudota medžiaga yra aviacinis aliuminis, tačiau ji susidūrė su itin didelio plokštumo (geriau nei 1 mikronas) kliūtimi didelių matmenų eroje. plokštelės (8 "ir daugiau nei 8"), kurios negali atitikti kietojo itin didelio lygumo indekso ir yra pašalintos. Kitas, aliuminio oksido medžiaga kaip perėjimas, jos tamprumo modulis, lengvas svoris, šilumos laidumas ir plėtimosi koeficientas ir silicio karbido nykštukas, bet ne dėl tam tikrų nepatogumų; Po didelių ir sudėtingų specialios formos tuščiavidurės struktūros silicio karbido keramikos paruošimo technologijos proveržio buvo patobulinti komponentai, įskaitant itin tikslų ruošinio pagrindą, itin tikslų oro plūdės kreiptuvą ir plokštelių perdavimo rankeną.

Ne tik aukščiau paminėtos silicio karbido keraminės dalys, atitinkančios itin didelio tikslumo kietumo plokštumo, lygiagretumo ir vertikalumo rodiklius, skirtos didelio grynumo silicio karbido keraminėms dalims, reikalingoms puslaidininkių pramonės plokštelių difuzijos, dopingo, ėsdinimo procesams. , ypač didelio grynumo CVDSiC medžiagų paruošimo technologijoje, turi brandžią proceso technologiją ir pagamino didelio grynumo silicio karbido keramikos krištolinę valtį, silicio karbido keraminę guolių plokštę, silicio karbido keraminę oro plūduriuojančią platformą, silicio karbido ultragarsą. - Tiksli judanti platforma, silicio karbido kreipiamasis bėgis, silicio karbido slydimo bėgelio komponentai.

Ateityje toliau plėsime silicio karbido medžiagų pritaikymą puslaidininkių pramonėje ir prisidėsime prie puslaidininkių pramonės grandinės ir silicio karbido keramikos pramonės atnaujinimo. Kinijos tikslūs silicio karbido keramikos komponentai ką tik prasidėjo nepriklausomi moksliniai tyrimai ir vidaus taikymo skatinimas, sparčiai vystantis puslaidininkių pramonei, šios rūšies aukščiausios klasės keraminių konstrukcijų paklausa rinkoje bus vis didesnė, silicio karbidas, pasižymintis puikiu fiziniu ir cheminių savybių, puslaidininkių pramonėje yra plačios taikymo perspektyvos.