Mājas
Produkti
Elektrostatiskā patrona ar savietojamību, augsta blīvuma, augstu konstrukcijas izturību ar pielāgotu
Iespējas
Saderība | Pielāgošana | Augsta blīvuma | Augsta strukturālā izturība | Ātrs piegādes laiks | Rentabls
Lietojumprogrammas
Ilgstoša implantācija | Plānā plēve | Kodināt | Procesu izstrāde | Aprīkojuma dizains
Dizains un ražošana
12 collu Fab tiek piegādāts, lai pārbaudītu faktisko veiktspēju, nodrošinātu reģenerāciju un remontu, kā arī pārbaudītu izstrādi un dizainu.
Līdz ar pusvadītāju un integrālo shēmu procesa iekārtu un procesa tehnoloģiju attīstību tradicionālās elektrostatiskās patronas, kurās kā dielektriķi izmanto organiskos polimēru materiālus, metālu oksīdus un keramikas materiālus, nav pilnībā savietojami ar tādiem materiāliem kā silīcija vafeles, safīrs un silīcija karbīds. Tāpēc pakāpeniski attīstīsies elektrostatiskās patronas, kas ir saderīgas ar pirmās, otrās un trešās paaudzes pusvadītāju vafeļu satvērējiem.
Polimēru elektrostatiskā patrona / sildītājs
Polimēru dielektriskais materiāls (polimērs) pašlaik ir visplašāk izmantotais elektrostatiskais patronas materiāls, tā sagatavošanas process ir arī visnobriedušākais, polimēru dielektriskais materiāls pēc polimēru modifikācijas apstrādes, elektriskās, mehāniskās, temperatūras izturības, halogēna izturības īpašības tiks ievērojami uzlabotas. Dielektriskais materiāls tiek veidots ar citām integrētām darbībām un pēc tam tiek slāņots ar daudzpakāpju vakuuma lielu slodzi, un starp iekšējiem elektrodiem veidojas blīvs dielektriskās izolācijas slānis.
Polimēru elektrostatiskā patrona
Polimēru modifikācijas tehnoloģija tiek izmantota, lai sasniegtu lielāku tilpuma pretestību un relatīvo dielektrisko konstanti, kā arī iegūtu stabilāku iespīlēšanas spēku.
Augsta blīvuma dielektriskie materiāli var samazināt daļiņu risku un samazināt jonu mobilitāti.
Sastiprināšanas priekšmetu daudzveidība var būt saderīga ar dažādu materiālu vafeļu iespīlēšanu.
Lieliska izturība pret koroziju halogēna un plazmas atmosfērā.
Augsta izmaksu veiktspēja, īss pieņemšanas periods, piemērots produktu procesa izstrādei un jaunu iekārtu izstrādes pārbaudei.
Polimēru elektrostatiskā patrona ar sildītāju
Tas var realizēt vairāku apkures temperatūras zonu izkārtojumu (līdz 20 temperatūras zonām), un tam ir laba apkures temperatūras vienmērība (± 5% ℃ @ 150 ℃).
Vakuuma laminēšanas tehnoloģija tiek izmantota, lai sasniegtu īpaši augstu blīvumu un sildīšanas temperatūru līdz 200 ° C.
Vienota apkures līkne ar plašāku temperatūras līknes iestatījumu diapazonu.
Augsta izmaksu veiktspēja, īss pieņemšanas periods, piemērots produktu procesa izstrādei un jaunu iekārtu izstrādes pārbaudei.
Keramika Elektrostatiskā patrona / sildītājs
Keramikas koagulācijas tehnoloģija ir uzlabots saķepināšanas process alumīnija oksīda/alumīnija nitrīda keramikas elektrostatisko patronu un sildītāju izstrādē. Tās pamatā ir izmantot dažādus nanometru diametra keramikas pulverus, kas tiek sajaukti noteiktā proporcijā, izmantojot unikālu maisīšanas iekārtu un sajaukšanas procesu. Keramikas elektrostatiskās patronas ar augstu blīvumu, stabilu kristāla struktūru un vienmērīgu pretestības sadalījumu tika saķepinātas ar noteiktu saķepināšanas temperatūras līkni saķepināšanas iekārtās. Statiskajai patronai, kas ražota ar keramikas koagulācijas tehnoloģiju, ir augsts blīvums, stabila kristāla struktūra un vienmērīgs tilpuma pretestības sadalījums, un tā var realizēt mikroshēmas parasto iespīlēšanas funkciju skarbā vidē augsta vakuuma, plazmas un halogēna apstākļos.
Al₂O3 Elektrostatiskā patrona
Tilpuma pretestība tiek kontrolēta ar koagulācijas keramikas tehnoloģiju un līdzdedzināšanas procesu, lai iegūtu ilgāku turēšanas spēku.
Augstas temperatūras saķepināšanas iekšējā struktūra ir blīva un kristāla struktūra ir stabila, un var iegūt lielāku temperatūras intervāla noturības spēju.
Integrēta līdzdedzināšanas formēšana samazina jonu migrāciju.
Ilgstoša darbība plazmas halogēna vakuuma atmosfērā.
AlN elektrostatiskā patrona
Kontrolējot betona materiāla sastāvu un proporciju, var kontrolēt tilpuma pretestību un iegūt noturību lielākā temperatūras intervālā.
Vienmērīgu temperatūras zonas sadalījumu nodrošina betona keramikas saķepināšanas tehnoloģija un līdzdedzināšanas process.
Integrēta līdzdedzināšanas veidne, lai palielinātu produkta kvalitāti.
Ilgstoša darbība plazmas halogēna vakuuma atmosfērā.
Keramikas elektrostatiskā patrona ar sildītāju
Tas var realizēt vairāku apkures temperatūras zonu izkārtojumu, un tam ir laba apkures temperatūras vienmērība (± 7,5% ℃ @ 350 ℃).
Vakuuma laminēšanas saķepināšanas tehnoloģija tiek izmantota, lai sasniegtu ārkārtīgi augstu blīvēšanas un sildīšanas temperatūru līdz 550 ℃.
Integrēta līdzdedzināšanas veidne, lai palielinātu produkta kvalitāti.
Ilgstoša darbība plazmas halogēna vakuuma atmosfērā.
Kompleksa tipa elektrostatiskā patrona / sildītājs
Var būt saderīgs ar silīciju, gallija arsenīdu, silīcija karbīdu, vafeļu stiprinājuma safīru, var samazināt iekārtu ražotāju un gala lietotāju vadu maiņas izmaksas. Pamatojoties uz betona keramikas tehnoloģiju un polimēru modifikācijas tehnoloģiju, integrētās vakuuma laminēšanas un karstās savienošanas tehnoloģijas izmantošana var samazināt elektrostatiskā sūcēja iekšējo termisko pretestību, panākt iekšējās temperatūras viendabīgumu, veidot blīvu dielektriskās izolācijas slāni, lai uzlabotu jonu migrācijas pretestības veiktspēju.
Kompleksa tipa elektrostatiskā patrona
Betona keramikas un polimēru modifikācijas tehnoloģiju izmantošanai ir augstāka blīvuma struktūra un mazāka gāzes izdalīšanās.
Stingrāka dielektriskā slāņa un elektrodu slāņa biezuma kontrole.
Spīlējošo priekšmetu daudzveidība var būt saderīga ar dažādu vafeļu iespīlēšanu.
Korpusa pretestību var precīzi kontrolēt, lai iegūtu spēcīgāku elektrostatisko turēšanas spēju.
Augsta izmaksu veiktspēja, īss pieņemšanas periods, piemērots produktu procesa izstrādei un jaunu iekārtu izstrādes pārbaudei.
Kompleksa tipa elektrostatiskā patrona ar sildītāju
Tas var realizēt vairāku apkures temperatūras zonu izkārtojumu, un tam ir laba apkures temperatūras vienmērība (± 3,5% ℃ @ 150 ℃).
Vakuuma laminēšanas tehnoloģija tiek izmantota, lai sasniegtu īpaši augstu blīvumu un sildīšanas temperatūru līdz 200 ° C.
Vienota apkures līkne ar plašāku temperatūras līknes iestatījumu diapazonu.
Augsta izmaksu veiktspēja, īss pieņemšanas periods, piemērots produktu procesa izstrādei un jaunu iekārtu izstrādes pārbaudei.