Mikroporaina keramikas vakuumpatrona
Keramikas vakuuma patronas īpašības
Spēcīga caurlaidība: vienmērīga gaisa caurlaidība un ūdens caurlaidība, lai nodrošinātu vienmērīgu silīcija vafeles spēku un ciešu adsorbciju slīpēšanas procesā bez slīdēšanas.
Blīva un vienmērīga struktūra: mikroporains keramikas materiāls ar blīvu un vienmērīgu struktūru, kas nav viegli adsorbē silīcija putekļus, un patrona ir viegli tīrāma.
Augsta izturība: slīpēšanas laikā nav deformācijas, lai nodrošinātu, ka silīcija plāksne tiek vienmērīgi nospriegota katrā slīpēšanas punktā, un nav viegli rasties malu sabrukšanas, gružu parādības.
Ilgs kalpošanas laiks: virsmas formas saglabāšana ir laba, pārsēja cikls ir garš un pārsēja daudzums ir mazs, tāpēc tam ir ilgs kalpošanas laiks.
Viegla pārsišana: beršanas laikā nebūs plaisāšanas, sadrumstalotības, kulšanas parādības.
Viegls: poru iekšējās struktūras dēļ īpatnējais smaguma koeficients ir 1,6-2,8.
Augsta izolācija: izolācijas materiāls, novērš statisko elektrību.
Precizitātes kontrole
kategorijā | Pamata materiāls | Adsorbcijas virsmas materiāls | Izmērs | Plakanums | paralēlisma dziļums |
Poraina patrona | Alumīnija sakausējums | Porains SIC | ≤12μm | ≤15 μm | ≤20 μm |
Nerūsējošais tērauds | ≤10 μm | ≤15 μm | |||
Alumīnija oksīds | ≤5μm | ≤8μm | |||
Silīcija karbīds | ≤3μm | ≤8μm | |||
Porainajai keramikas patronai ir pilns specifikāciju un izmēru klāsts, ko var izmantot 3 collu līnijā, 4 collu līnijā, 5 collu līnijā, 6 collu līnijā, 8 collu līnijā un 12 collu līnijā, un var pielāgot atbilstoši nepieciešamajām specifikācijām un izmēriem. | |||||
Pašreizējā korpusa maksimālais izmērs ir:1600*1600m, biezums 50mm; |
Poraina keramikas materiāla īpašības:
Galvenās sastāvdaļas: alumīnija oksīds Krāsa: melna, dzelzs pelēka
Alumīnija oksīda saturs: 92% Mitruma saturs: 0%
Atvērums: 2–30 um Porainība: 35–40%
Liekšanas izturība: 6kgf/cm2 (Mpa) Tilpuma attiecība: 2,28g/cm3
Keramikas patronas tips
Atbilstoši pielietojumam keramikas patronas iedala:
Atšķaidīšanas iekārta, kas aprīkota ar: abrazīvo disku patronu, silīcija vafeli, safīra substrātu un citu retināšanu;
Griešanas mašīna ir aprīkota ar: skrejpatronu, silīcija plāksni, pusvadītāju savienojumu plāksni un citu griešanu;
Tīrīšanas mašīna aprīkota ar: tīrīšanas patronu;
Plēves noņemšanas mašīna ir aprīkota ar: plēves noņemšanas patronu;
Laminēšanas iekārta, kas aprīkota ar: laminēšanas patronu;
Iespiedmašīna aprīkota ar: drukas patronu.
Kvalitātes nodrošināšana
Fountyl ir daudzu gadu tehniskā pieredze inženierijas keramikas precizitātes un īpaši precizitātes apstrādē un ražošanā, dažādu fizikālās un ķīmiskās analīzes instrumentu un ģeometrisko mērinstrumentu jomā, lai nodrošinātu keramikas patronas ražošanas stabilitāti un produkta konsistenci.
Produkta pielietojums
Poraina patrona (adsorbcijas darba galds) ir sastāvdaļa, ko izmanto pusvadītāju ražošanas posmā un samontēta uz skrejmašīnas vai pārbaudes ierīces. Tas ir produkts, kas var izmantot darbagalda virsmas poraino struktūru un negatīvo spiedienu, lai plānā silīcija plāksne būtu plakana. Rakstīšanas iekārta sagriež silīcija plāksni ar platumu aptuveni 20 μm, tāpēc prasība pēc vafeļu adsorbcijas virsmas līdzenuma un paralēlisma ir ļoti augsta. Atbilstoši to attiecīgajām īpašībām dažādām poru struktūrām ir dažādi pielietojuma diapazoni, piemēram, mikroporaina keramika ar lielu īpatnējo virsmu un mazu poru izmēru, ko parasti izmanto baktēriju filtrēšanas un mikrobu fiksācijas laukos; Mezoporainā keramika ar īpatnējo diametra sadalījumu bieži tiek izmantota separācijas, adsorbcijas katalīzes laukos. Makroporaina keramika parasti ir piemērota liela satura un liela izmēra vielu rupjai filtrēšanai.