an-trano
Products
Electrostatic chuck miaraka amin'ny compatibility, avo-density, hight tanjaka ara-drafitra amin'ny namboarina
Toetoetra
Compatibility | Customization | High-Density | High Structural Strength | Fast Delivery Time | vidim-mahomby
Applications
Lon-implantation | Sarimihetsika manify | Etch | Process Development | Famolavolana fitaovana
Famolavolana sy fanamboarana
12 inch Fab natolotra hanamarina ny tena zava-bita, manome fanavaozana sy fanamboarana ary hanamarina ny fivoarana sy ny famolavolana.
Miaraka amin'ny fizotry ny fitaovana sy ny fivoaran'ny teknolojian'ny semiconductor sy Integrated circuit, ny electrostatic chucks nentim-paharazana mampiasa fitaovana polymère organika, metaly oxides ary fitaovana seramika toy ny dielectrics dia tsy mifanaraka tanteraka amin'ny fitaovana toy ny wafers silisiôma, safira ary karbida silisiôma. Noho izany, ny electrostatic chucks mifanaraka amin'ny voalohany, faharoa sy fahatelo taranaka semiconductor wafer grippers dia hivoatra tsikelikely.
Polymer Electrostatic Chuck / Heater
Polymer dielectric akora (Polymère) amin'izao fotoana izao no be mpampiasa indrindra electrostatic Chuck fitaovana, ny fanomanana dingana ihany koa ny matotra indrindra, polymer dielectric fitaovana taorian'ny polymer fanovana fitsaboana, elektrika, mekanika, mari-pana fanoherana, halogen fanoherana fananana dia ho tsara kokoa. Ny fitaovana dielectric dia lamina amin'ny asa mitambatra hafa, ary avy eo dia apetraka amin'ny enta-mavesatra mavesatra marobe, ary misy sosona insulation dielectric matevina miforona eo anelanelan'ny electrodes anatiny.
Polymer Electrostatic Chuck
Ny teknôlôjia fanovana polymère dia ampiasaina mba hahatratrarana ny resistivity betsaka kokoa sy ny tsy tapaka ny dielectric havany, ary hahazoana hery clamping matanjaka kokoa.
Ny fitaovana dielectric avo lenta dia mety hampihena ny loza ateraky ny kojakoja ary hampihena ny fivezivezena ion.
Ny fahasamihafan'ny zavatra clamping dia mety mifanaraka amin'ny clamping ny wafers amin'ny fitaovana samihafa.
Ny fanoherana ny harafesina tsara amin'ny atmosfera halogen sy plasma.
Fampisehoana lafo vidy, fe-potoana fanekena fohy, mety amin'ny fivoaran'ny vokatra sy ny fanamarinana ny fampivoarana fitaovana vaovao.
Polymer Electrostatic Chuck miaraka amin'ny Heater
Izy io dia afaka mahatsapa ny fisehon'ny faritra mafana fanafanana maro (hatramin'ny 20 mari-pana faritra), ary manana mari-pana fanamiana tsara (± 5% ℃ @ 150 ℃).
Ny teknolojia laminating vacuum dia ampiasaina mba hahatratrarana ny haavony avo indrindra sy ny hafanana hafanana hatramin'ny 200 ° C.
Curve fanafanana fanamiana, miaraka amin'ny Fanitsiana curve maripana midadasika kokoa.
Fampisehoana lafo vidy, fe-potoana fanekena fohy, mety amin'ny fivoaran'ny vokatra sy ny fanamarinana ny fampivoarana fitaovana vaovao.
Seramika Electrostatic Chuck / Heater
Ny teknolojia coagulation seramika dia dingana sintering nohatsaraina amin'ny fampandrosoana ny chucks sy ny heaters alumina / aluminium nitride seramika electrostatic. Ny fototra dia ny fampiasana isan-karazany nanometer savaivony vovoka seramika, izay mifangaro amin'ny ampahany sasany amin'ny alalan'ny fitaovana fampifangaroana tsy manam-paharoa sy ny fampifangaroana dingana. Ceramic electrostatic Chucks amin'ny hakitroky avo, firafitry ny kristaly mafy orina sy ny fanamiana resistivity fizarana dia sintered amin'ny sasany sintering mari-pana curve amin'ny sintering fitaovana. Ny chuck static novokarin'ny teknolojia coagulation seramika dia manana hakitroky avo, firafitry ny kristaly marin-toerana ary fizarana resistivity boky fanamiana, ary afaka mahatsapa ny fiasan'ny clamping mahazatra ny chip ao amin'ny tontolo henjana eo ambanin'ny banga avo, plasma ary halogen.
Al₂O₃ Chuck Electrostatic
Ny tahan'ny volume dia fehezin'ny teknolojia seramika coagulation sy ny fizotry ny fandoroana mba hahazoana hery mitazona lava kokoa.
Ny rafitra anatiny amin'ny sintering amin'ny mari-pana ambony dia matevina ary ny firafitry ny kristaly dia miorina, ary azo alaina ny fahafaha-mihazona ny elanelan'ny mari-pana lehibe kokoa.
Mampihena ny fifindran'ny ion ny famolahana miaraka amin'ny afo.
Fampandehanana maharitra ao amin'ny atmosfera vacuum halogen plasma.
AlN Electrostatic Chuck
Amin'ny alàlan'ny fifehezana ny firafitry sy ny ampahany amin'ny fitaovana simenitra dia azo fehezina ny fanoherana ny volume ary azo atao ny mahazo ny fahafaha-mihazona amin'ny elanelan'ny mari-pana lehibe kokoa.
Ny fizarana mari-pana fanamiana dia azo antoka amin'ny alàlan'ny teknolojia sintering sy ny dingan'ny famonoana seramika simenitra.
Famolavolana co-firing mitambatra mba hampitomboana ny kalitaon'ny vokatra.
Fampandehanana maharitra ao amin'ny atmosfera vacuum halogen plasma.
Ceramics Electrostatic Chuck miaraka amin'ny Heater
Afaka mahatsapa ny fisehon'ny fanafanana mari-pana maro faritra, ary manana tsara fanafanana mari-pana fanamiana (± 7.5% ℃ @ 350 ℃).
Vacuum laminating sintering teknolojia dia ampiasaina mba hahazoana densification avo dia avo sy fanafanana mari-pana hatramin'ny 550 ℃.
Famolavolana co-firing mitambatra mba hampitomboana ny kalitaon'ny vokatra.
Fampandehanana maharitra ao amin'ny atmosfera vacuum halogen plasma.
Karazana karazana Electrostatic Chuck / Heater
Mety ho mifanaraka amin'ny silisiôma, gallium arsenide, silisiôma carbide, safira ny wafer clamping, dia afaka mampihena ny vidin'ny fanovana tariby ny mpanamboatra fitaovana sy ny mpampiasa farany. Miorina amin'ny teknolojia simenitra seramika sy ny teknolojia fanovana polymère, ny fampiasana ny lamination banga mitambatra sy ny teknolojia fatorana mafana dia afaka mampihena ny fanoherana mafana ao amin'ny electrostatic sucker, hahatratra ny hafanana anatiny fanamiana, mamorona dielectric insulation sosona matevina mba hanatsarana ny ion fifindra-monina fanoherana fampisehoana.
Complex Type Electrostatic Chuck
Ny fampiasana ny simenitra seramika sy ny polymer teknolojia fanovana, manana rafitra matevina kokoa sy ambany kokoa ny entona famoahana.
Fanaraha-maso hentitra ny sosona dielectric sy ny hatevin'ny banky electrode.
Ny fahasamihafan'ny zavatra clamping dia mety mifanaraka amin'ny clamping ny wafers samihafa.
Ny fanoherana ny vatana dia azo fehezina tsara mba hahazoana hery mitazona electrostatic matanjaka kokoa.
Fampisehoana lafo vidy, fe-potoana fanekena fohy, mety amin'ny fivoaran'ny vokatra sy ny fanamarinana ny fampivoarana fitaovana vaovao.
Komplex Type Electrostatic Chuck Miaraka amin'ny Heater
Afaka mahatsapa ny fisehon'ny fanafanana mari-pana maro faritra, ary manana tsara fanafanana mari-pana fanamiana (± 3.5% ℃ @ 150 ℃).
Ny teknolojia laminating vacuum dia ampiasaina mba hahatratrarana ny haavony avo indrindra sy ny hafanana hafanana hatramin'ny 200 ° C.
Curve fanafanana fanamiana, miaraka amin'ny Fanitsiana curve maripana midadasika kokoa.
Fampisehoana lafo vidy, fe-potoana fanekena fohy, mety amin'ny fivoaran'ny vokatra sy ny fanamarinana ny fampivoarana fitaovana vaovao.