Kainga
Hua
Ko te hiko hiko me te hototahi, te kiato teitei, te kaha hanganga teitei me te mea whakarite
Ngā āhuatanga
Hototahi | Whakaritenga | Kiato-Teitei | Te Kaha Hanganga Teitei | Wā Tukunga Tere | Utu-whai hua
Nga tono
Ron-implantation | Kiriata Angiangi | Etch | Whakawhanake Tukanga | Hoahoa Taputapu
Hoahoa me te Hanga
12 inihi a Fab i tukuna ki te manatoko i te tino mahi, te whakahou me te whakatikatika, me te manatoko i te whanaketanga me te hoahoa.
Na nga taputapu tukanga me te whanaketanga hangarau hangarau o te semiconductor me te ara iahiko whakauru, ko nga taarua hiko tuku iho e whakamahi ana i nga rawa polymer organic, nga waikura whakarewa me nga taonga karaima i te mea ko nga dielectrics kaore i te tino hototahi ki nga taonga penei i te wafers silicon, sapphire me te silicon carbide. Na reira, ka tipu haere nga kaikawe hiko e hototahi ana ki nga reanga tuatahi, tuarua me te tuatoru o nga reanga angiangi angiangi.
Poraka Hiko Huka / Whakawera
Ko te rauemi polymer dielectric (Polymer) ko te nuinga o te waa e whakamahia ana i nga taputapu hiko hiko, ko tana tukanga whakarite ko te mea tino pakeke, ko nga rauemi dielectric polymer i muri i te maimoatanga whakarereke polymer, te hiko, te miihini, te wera o te wera, nga ahuatanga ahuru halogen ka tino pai ake. Ko te rauemi dielectric e whakatauirahia ana e etahi atu mahi whakauru, katahi ka whakakikoruatia e te maha o nga waahanga korehau taumaha, ka hangaia he paparanga whakamatao dielectric i waenga i nga hiko o roto.
Chuck Hiko Polymer
Ka whakamahia te hangarau whakarereke polymer ki te whakatutuki i te parenga o te nuinga o te nuinga me te mau tonu o te dielectric whanaunga, me te whiwhi i te kaha awhi.
Ka taea e nga rauemi dielectric kiato teitei te whakaiti i te tupono o te matūriki me te whakaheke i te neke katote.
Ko te kanorau o nga mea awhi ka taea te hototahi ki te awhi angiangi o nga rawa rereke.
He pai te aukati i te waikura i roto i nga hau halogen me te plasma.
He utu nui te utu, he wa poto mo te whakaaetanga, e tika ana mo te whakawhanaketanga tukanga hua me te manatoko whanaketanga taputapu hou.
Poraka Hiko Hiko Me te Whakawera
Ka taea e ia te mohio ki te whakatakotoranga o nga rohe wera whakamahana maha (tae atu ki te 20 nga waahi pāmahana), me te pai o te whakamahana o te pāmahana whakawera (± 5% ℃@150 ℃).
Ka whakamahia te hangarau laminating korehau ki te whakatutuki i te kiato tino teitei me te mahana whakawera ki te 200 ° C.
Anau whakamahana riterite, me te whanui ake o nga Tautuhinga pihi mahana.
He utu nui te utu, he wa poto mo te whakaaetanga, e tika ana mo te whakawhanaketanga tukanga hua me te manatoko whanaketanga taputapu hou.
Ceramic Electrostatic Chuck / Whakawera
Ko te hangarau coagulation Ceramic he pai ake te tukanga sintering i roto i te whanaketanga o te konumohe / konumohe nitride uku hiko chucks me whakamahana. Ko tana kaupapa matua ko te whakamahi i nga momo paura karamete diameter nanometer, ka konatunatua ki tetahi waahanga na roto i te taputapu whakaranu ahurei me te mahi whakaranu. Ko nga karaka hiko hiko me te kiato teitei, te hanganga karaihe pumau me te tohatoha parenga riterite i pania ki tetahi anau pāmahana sintering i roto i nga taputapu sintering. Ko te chuck pateko hangaia e te hangarau coagulation uku he kiato tiketike, hanganga karaihe pūmau me te tohatoha rōrahi parenga orite, a ka taea e mohio te mahi awhi noa o te maramara i roto i te taiao pakeke i raro i te korehau tiketike, plasma me te halogen.
Al₂O₃ Chuck Hiko
Ko te aukati o te rōrahi e whakahaerehia ana e te hangarau coagulation ceramic me te mahi pupuhi tahi kia roa ake ai te pupuri.
He mātotoru te hanganga o roto o te whakahiato pāmahana teitei, he pumau te hanganga karaihe, a ka taea te whiwhi i te kaha pupuri o te waahi pāmahana nui ake.
Ko te whakahiato whakakotahitanga pupuhi ka whakaiti i te heke katote.
Te mahi pumau i roto i te hau hau hauhau hauhau plasma.
AlN Electrostatic Chuck
Ma te whakahaere i te hanganga me te wahanga o te papanga raima, ka taea te whakahaere i te parenga o te rōrahi, ka taea te whiwhi i te kaha pupuri i roto i te waahi pāmahana nui ake.
Ko te tohatoha o te rohe o te pāmahana orite ka whakapumautia e te hangarau sintering me te mahi puhipuhi o nga raima raima.
Whakakotahitia te whakahiato pupuhi hei whakanui i te kounga o te hua.
Te mahi pumau i roto i te hau hau hauhau hauhau plasma.
Ceramic Electrostatic Chuck With Heater
Ka taea e ia te mohio ki te whakatakotoranga o nga rohe wera whakamahana maha, me te pai o te whakamahana o te pāmahana whakawera (± 7.5% ℃@350 ℃).
Ka whakamahia te hangarau laminating sintering mokohau ki te whakatutuki i te tino teitei me te whakamahana i te mahana ki te 550 ℃.
Whakakotahitia te whakahiato pupuhi hei whakanui i te kounga o te hua.
Te mahi pumau i roto i te hau hau hauhau hauhau plasma.
Momo Matatini Electrostatic Chuck / Heater
Ka taea te hototahi ki te silicon, gallium arsenide, silicon carbide, sapphire o te wafer clamping, ka taea te whakaiti i nga utu whakarereke waea a nga kaihanga taputapu me nga kaiwhakamahi mutunga. I runga i te hangarau raima raima me te hangarau whakarereke polymer, ka taea e te whakamahi o te miihini miihini whakauru me te hangarau honohono wera te whakaiti i te aukati waiariki o roto o te ngongo hiko, te whakatutuki i te riterite o te pāmahana o roto, te hanga i tetahi paparanga whakamaarama dielectric kia pai ake ai te mahi aukati heke katote.
Momo Matatini Chuck Hiko
Ko te whakamahinga o te hangarau raima me te hangarau polymer whakarereke, he teitei ake te hangahanga me te tuku hau iti.
Kia kaha ake te whakahaere o te paparanga dielectric me te matotoru peeke hiko.
Ko te kanorau o nga mea awhi ka taea te hototahi ki te awhi o nga momo angiangi.
Ka taea te whakahaere tika te parenga o te tinana kia kaha ake ai te pupuri hiko hiko.
He utu nui te utu, he wa poto mo te whakaaetanga, e tika ana mo te whakawhanaketanga tukanga hua me te manatoko whanaketanga taputapu hou.
Momo Matatini Electrostatic Chuck Ki te Whakawera
Ka taea e ia te mohio ki te whakatakotoranga o te maha o nga rohe wera whakawera, me te pai o te taurite o te pāmahana whakawera (± 3.5% ℃@150 ℃).
Ka whakamahia te hangarau laminating korehau ki te whakatutuki i te kiato tino teitei me te mahana whakawera ki te 200 ° C.
Anau whakawera taurite, me te whānuitanga ake o nga Tautuhinga pihi mahana.
Te utu nui o te utu, te wa whakaae poto, e tika ana mo te whakawhanaketanga tukanga hua me te manatoko whanaketanga taputapu hou.