Kainga
Hua matua
Ko te wafer pin chuck e whakamahia ana mo te taputapu whakakitenga semiconductor me te taputapu tirotiro angiangi
Ngā āhuatanga
Te ātete pāmahana teitei:Silicon carbide me te alumina taonga uku he pai te mahi pāmahana teitei, ka taea te whakamahi i roto i te taiao pāmahana teitei mo te wa roa, e kore e ngawari ki te whakarereke, ki te pakaru ranei.
Ātete waikura:ka taea te tu atu i nga momo waikura matū, e tika ana mo te whakahaere i nga wai whakakino, i nga hau ranei i roto i te taiao mahi.
Atete kakahu:te pakeke nui, me te pai o te kakahu kakahu, ka taea te whakamahi mo te wa roa kaore he rahua.
Te whakauru kaha:ko te hanganga tohu convex ka whakaiti i te waahi whakapiri o te kapu momi, na reira ka piki ake te kaha adsorption mo ia waahanga wae, a ka kaha ake te whakauru i te taputapu mahi.
Pūmautanga teitei:Na nga ahuatanga o te rauemi, he tino pumau te tiihi angiangi ka taea te mahi mo te wa roa.
Whakaititia te parahanga:Kei te tipu haere nga kopa angiangi uku mai i nga awaawa ki nga titi hei whakaiti i te waahi whakapiri, hei whakaiti i etahi parahanga me te whakapai ake i te whakatikatika.
Mana Tukatuka
Te tino tika: 12 inihi te whanui, ka whakahaerehia te papatahi i roto i te 5 μm; Mena kei te hiahia koe kia tika ake, tena koa imeera mai.
Te mana hanga: Whakaritea te ahua o te puru kia rite ki te ahua angiangi (te mana kore-rite).
Te whakautu urupare: Whakaritea te hoahoa kia rite ki nga whakaritenga.
To Tatou Ratonga
Ko te kowhiringa o te wafer pine chuck me whakaarohia kia rite ki nga mea maha penei i te diameter e hiahiatia ana o nga kapu momi, te maha o nga tohu convex, me te ahua o te chuck, me te whiriwhiri tika i runga i te rahi, te taumaha o te adsorption. ahanoa me nga whakaritenga o te taiao mahi.
I whakamahia e matou te hangarau miihini papatahi, te whakatinana i te hoahoa auaha mo te ritenga, me te whakarato i te tiihi angiangi pai rawa atu hei whakatutuki i nga whakaritenga a nga kaihoko.
Ko te ahua papatahi o te titi titi ka taea te whakatika noa kia rite ki te ahua o te angiangi, a ka taea te whakarite i te waahi adsorption, tauira pine ranei hei whakapai ake i te urupare adsorption.
Rauemi: Ka taea te kowhiri i te konumohe oxide ceramic, silicon carbide ranei, ka taea te whakakikorua i te DLC me te Teflon ki te mata.
Kei te whanakehia nga putu angiangi wafer SiC/SSiC mo te whakamohiotanga o te wafer, te tirotiro, nga tikanga kawe waka he tino ngawari, he papatahi, he tino atete ki nga taiao mahi kino.
Raraunga Whakamatau Tika
Taupānga
Te whakatika angiangi o te taputapu whakakitenga semiconductor; Te whakatika angiangi o te taputapu tirotiro angiangi.