0102030405
Порозна воздушна пловечка платформа со технологија за пренос на оптоварување на бесконтактен режим за полупроводничка индустрија
Традиционалната воздушна пловечка платформа генерално усвојува технологија за пригушување со мали дупки, торус придушување или пригушување со пресеци, која се карактеризира со едноставна технологија за обработка, но кога се менува притисокот на доводниот воздух, лесно е да се произведе феномен на свиркање, звукот е остар и лежиштето капацитетот исто така флуктуира, што не е погодно за тивка и стабилна работна средина под притисок.
Традиционалните TFT-LCD стаклени подлоги се изведуваат со роботски краци (Robots) и AGV (Автоматски управувано возило). Стаклена подлога во производниот процес. Тоа е контактна операција со платформата за префрлање товар (или валјак). Кога стаклената подлога е во контакт со платформата или валјакот за префрлање на товарот, допирот и триењето ги предизвикуваат овие оштетувања или дефекти, проблеми на агли кои недостасуваат, пукање, оштетување, контаминација и статички електрицитет на површината на стаклената подлога, а потоа влијае на производството. приносот и квалитетот на производот, покрај употребата на оптоварување за пренос со ротација на ролери, сè уште имаат технички проблеми што треба да се надминат. Овие проблеми имаат големо влијание врз ефикасноста на производството на стаклени подлоги со големи димензии и итно е потребно да се подобрат. Ако технологијата на бесконтактна воздушна пловечка платформа може да ги замени проблемите што произлегуваат од традиционалната технологија за префрлање на оптоварувањето со контакт, тоа ќе биде ефикасно решение. Предности на воздушниот лебдечки систем:
1. Нула триење.
2. Нулта абење.
3. Право движење, ротирачко движење се применливи.
4. Тивко и непречено работење.
5. Повисоко амортизација.
6. Елиминирајте го маслото.
Структурата на воздушната пловечка платформа е составена од нано-порозна керамика вградена во основата за да формира вакуумска комора. чист компримиран воздух со без вода и без масло се внесува во јазот на режимот на воздух помеѓу површината на лежиштето и воздушната пловечка водилка низ цевката за гас. Гасот тече во јазот на режимот на воздух за да ја натера површината на лежиштето да плови на воздушната пловечка водечка шина. Гасот делува како лубрикант за движење или транспорт на предмети без триење.
Конструкција за заедничка воздушна пловечка дупка:
а) Структура на пригушување на отворот
б) Порозна структура
Најголемата приспособена големина: должина 1600мм, ширина 1000мм
Опремата за бесконтактно пренесување и префрлање на товарот е главно за подобрување на проблемите предизвикани од традиционалната технологија за ракување откако стаклената подлога ќе стане поголема, бидејќи во процесот на пренесување и поместување на товарот не е директно во контакт со работниот објект, така што може да се избегне појава на прицврстување на загадувачи, стрес, статички електрицитет и оштетување на стаклената подлога. Порозниот материјал, од друга страна, значително го намалува протокот на гас, постигнува рамномерен воздушен притисок и добра дистрибуција на воздушното перниче и обезбедува доволна висина на лебдење потребна за работа.