Leave Your Message
അനുയോജ്യത, ഉയർന്ന സാന്ദ്രത, കസ്റ്റമൈസ് ചെയ്ത ഉയർന്ന ഘടനാപരമായ ശക്തി എന്നിവയുള്ള ഇലക്ട്രോസ്റ്റാറ്റിക് ചക്ക്

ഉൽപ്പന്നങ്ങൾ

ഉൽപ്പന്ന വിഭാഗങ്ങൾ
തിരഞ്ഞെടുത്ത ഉൽപ്പന്നം
0102030405

അനുയോജ്യത, ഉയർന്ന സാന്ദ്രത, കസ്റ്റമൈസ് ചെയ്ത ഉയർന്ന ഘടനാപരമായ ശക്തി എന്നിവയുള്ള ഇലക്ട്രോസ്റ്റാറ്റിക് ചക്ക്

ഇലക്ട്രോസ്റ്റാറ്റിക് ചക്കിന് വാക്വം അന്തരീക്ഷത്തിൽ സാധാരണ ഉപയോഗത്തിൻ്റെ പ്രവർത്തനമുണ്ട്, കൂടാതെ ഉയർന്ന വാക്വം പ്ലാസ്മയിലോ പ്രത്യേക വാതക അന്തരീക്ഷത്തിലോ വേഫറിൻ്റെ ഹോൾഡിംഗ്, ടെമ്പറേച്ചർ കൺട്രോൾ എന്നിവയുടെ പങ്ക് വഹിക്കുന്നു, അർദ്ധചാലക പ്രോസസ്സ് ഉപകരണങ്ങളെ വൈദ്യുത സവിശേഷതകളും പ്രത്യേക പ്രദേശങ്ങളുടെ ഭൗതിക രൂപവും മാറ്റാൻ സഹായിക്കുന്നു. വേഫർ, അങ്ങനെ അത് പ്രത്യേക പ്രവർത്തനങ്ങൾ അവതരിപ്പിക്കുന്നു. മറ്റ് സങ്കീർണ്ണവും ആവശ്യപ്പെടുന്നതുമായ പ്രക്രിയകളുടെ ഒരു പരമ്പരയിലൂടെ വേഫറിനെ സങ്കീർണ്ണമായ ഒരു ഇൻ്റഗ്രേറ്റഡ് സർക്യൂട്ട് ഘടനയാക്കി മാറ്റുന്നു. അർദ്ധചാലക കോർ പ്രക്രിയയിൽ ഇലക്ട്രോസ്റ്റാറ്റിക് ചക്ക്, ഇലക്ട്രോസ്റ്റാറ്റിക് ചക്ക് ഹീറ്റർ എന്നിവ വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കപ്പെടുന്നു, കൂടാതെ പ്രധാന പ്രക്രിയകളുടെ അയോൺ ഇംപ്ലാൻ്റേഷൻ, എച്ചിംഗ്, നീരാവി നിക്ഷേപം എന്നിവയുടെ പ്രധാന ഘടകങ്ങളിലൊന്നാണ്.

    ഫീച്ചറുകൾ

    അനുയോജ്യത | കസ്റ്റമൈസേഷൻ | ഉയർന്ന സാന്ദ്രത | ഉയർന്ന ഘടനാപരമായ ശക്തി | ഫാസ്റ്റ് ഡെലിവറി സമയം | ചെലവ് കുറഞ്ഞതാണ്

    അപേക്ഷകൾ

    ലോൺ-ഇംപ്ലാൻ്റേഷൻ | നേർത്ത ഫിലിം | Etch | പ്രക്രിയ വികസനം | ഉപകരണ രൂപകൽപ്പന

    രൂപകൽപ്പനയും നിർമ്മാണവും

    12 ഇഞ്ച് ഫാബ് യഥാർത്ഥ പ്രകടനം പരിശോധിക്കുന്നതിനും പുനരുജ്ജീവനവും അറ്റകുറ്റപ്പണികളും നൽകുന്നതിനും വികസനവും രൂപകൽപ്പനയും പരിശോധിക്കുന്നതിനും വിതരണം ചെയ്തു.


    അർദ്ധചാലകത്തിൻ്റെയും ഇൻ്റഗ്രേറ്റഡ് സർക്യൂട്ടിൻ്റെയും പ്രോസസ്സ് ഉപകരണങ്ങളും പ്രോസസ് ടെക്നോളജി ഡെവലപ്‌മെൻ്റും ഉപയോഗിച്ച്, ഓർഗാനിക് പോളിമർ മെറ്റീരിയലുകൾ, മെറ്റൽ ഓക്‌സൈഡുകൾ, സെറാമിക് വസ്തുക്കൾ എന്നിവ ഡൈഇലക്‌ട്രിക്‌സായി ഉപയോഗിക്കുന്ന പരമ്പരാഗത ഇലക്‌ട്രോസ്റ്റാറ്റിക് ചക്കുകൾ സിലിക്കൺ വേഫറുകൾ, നീലക്കല്ല്, സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് തുടങ്ങിയ വസ്തുക്കളുമായി പൂർണ്ണമായും പൊരുത്തപ്പെടുന്നില്ല. അതിനാൽ, ഒന്നും രണ്ടും മൂന്നും തലമുറയിലെ അർദ്ധചാലക വേഫർ ഗ്രിപ്പറുകൾക്ക് അനുയോജ്യമായ ഇലക്ട്രോസ്റ്റാറ്റിക് ചക്കുകൾ ക്രമേണ വികസിക്കും.

    പോളിമർ ഇലക്ട്രോസ്റ്റാറ്റിക് ചക്ക് / ഹീറ്റർ

    പോളിമർ ഡൈഇലക്‌ട്രിക് മെറ്റീരിയൽ (പോളിമർ) നിലവിൽ ഏറ്റവും വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്ന ഇലക്‌ട്രോസ്റ്റാറ്റിക് ചക്ക് മെറ്റീരിയലാണ്, അതിൻ്റെ തയ്യാറെടുപ്പ് പ്രക്രിയയും പോളിമർ പരിഷ്‌ക്കരണ ചികിത്സയ്‌ക്ക് ശേഷമുള്ള ഏറ്റവും പക്വമായ, പോളിമർ ഡൈഇലക്‌ട്രിക് മെറ്റീരിയലാണ്, ഇലക്ട്രിക്കൽ, മെക്കാനിക്കൽ, താപനില പ്രതിരോധം, ഹാലൊജൻ പ്രതിരോധശേഷി എന്നിവ വളരെയധികം മെച്ചപ്പെടുത്തും. ഡൈഇലക്‌ട്രിക് മെറ്റീരിയൽ മറ്റ് സംയോജിത പ്രവർത്തനങ്ങളാൽ പാറ്റേൺ ചെയ്യുന്നു, തുടർന്ന് മൾട്ടിസ്റ്റേജ് വാക്വം ഹെവി ലോഡ് ഉപയോഗിച്ച് ലേയേർഡ് ചെയ്യുന്നു, കൂടാതെ ആന്തരിക ഇലക്ട്രോഡുകൾക്കിടയിൽ ഇടതൂർന്ന വൈദ്യുത ഇൻസുലേഷൻ പാളി രൂപം കൊള്ളുന്നു.

    പോളിമർ ഇലക്ട്രോസ്റ്റാറ്റിക് ചക്ക്

    ഉയർന്ന ബൾക്ക് റെസിസ്റ്റിവിറ്റിയും ആപേക്ഷിക വൈദ്യുത സ്ഥിരതയും നേടുന്നതിനും കൂടുതൽ സ്ഥിരതയുള്ള ക്ലാമ്പിംഗ് ഫോഴ്‌സ് നേടുന്നതിനും പോളിമർ പരിഷ്‌ക്കരണ സാങ്കേതികവിദ്യ ഉപയോഗിക്കുന്നു.
    ഹൈ ഡെൻസിറ്റി ഡൈഇലക്‌ട്രിക് മെറ്റീരിയലുകൾക്ക് കണികാ ദ്രവ്യത്തിൻ്റെ അപകടസാധ്യത കുറയ്ക്കാനും അയോൺ മൊബിലിറ്റി കുറയ്ക്കാനും കഴിയും.
    ക്ലാമ്പിംഗ് ഒബ്‌ജക്റ്റുകളുടെ വൈവിധ്യം വ്യത്യസ്ത മെറ്റീരിയലുകളുടെ വേഫറുകളുടെ ക്ലാമ്പിംഗുമായി പൊരുത്തപ്പെടാം.
    ഹാലൊജനിലും പ്ലാസ്മ അന്തരീക്ഷത്തിലും മികച്ച നാശന പ്രതിരോധം.
    ഉയർന്ന ചെലവ് പ്രകടനം, ചെറിയ സ്വീകാര്യത കാലയളവ്, ഉൽപ്പന്ന പ്രക്രിയ വികസനത്തിനും പുതിയ ഉപകരണ വികസന പരിശോധനയ്ക്കും അനുയോജ്യമാണ്.

    ഹീറ്റർ ഉള്ള പോളിമർ ഇലക്ട്രോസ്റ്റാറ്റിക് ചക്ക്

    ഇതിന് ഒന്നിലധികം തപീകരണ താപനില സോണുകളുടെ (20 താപനില സോണുകൾ വരെ) ലേഔട്ട് തിരിച്ചറിയാൻ കഴിയും, കൂടാതെ നല്ല ചൂടാക്കൽ താപനില ഏകീകൃതത (±5%℃@150℃) ഉണ്ട്.
    വളരെ ഉയർന്ന സാന്ദ്രതയും 200 ഡിഗ്രി സെൽഷ്യസ് വരെ ചൂടാക്കൽ താപനിലയും കൈവരിക്കാൻ വാക്വം ലാമിനേറ്റിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യ ഉപയോഗിക്കുന്നു.
    ഊഷ്മാവ് കർവ് ക്രമീകരണങ്ങളുടെ വിശാലമായ ശ്രേണിയുള്ള ഏകീകൃത തപീകരണ വക്രം.
    ഉയർന്ന ചെലവ് പ്രകടനം, ചെറിയ സ്വീകാര്യത കാലയളവ്, ഉൽപ്പന്ന പ്രക്രിയ വികസനത്തിനും പുതിയ ഉപകരണ വികസന പരിശോധനയ്ക്കും അനുയോജ്യമാണ്.

    സെറാമിക്സ് ഇലക്ട്രോസ്റ്റാറ്റിക് ചക്ക് / ഹീറ്റർ

    അലൂമിന/അലുമിനിയം നൈട്രൈഡ് സെറാമിക് ഇലക്‌ട്രോസ്റ്റാറ്റിക് ചക്കുകളുടെയും ഹീറ്ററുകളുടെയും വികസനത്തിലെ മെച്ചപ്പെട്ട സിൻ്ററിംഗ് പ്രക്രിയയാണ് സെറാമിക് കോഗ്യുലേഷൻ സാങ്കേതികവിദ്യ. നാനോമീറ്റർ വ്യാസമുള്ള വിവിധതരം സെറാമിക് പൊടികൾ ഉപയോഗിക്കുക എന്നതാണ് ഇതിൻ്റെ പ്രധാന ലക്ഷ്യം, അവ ഒരു പ്രത്യേക മിക്സിംഗ് ഉപകരണത്തിലൂടെയും മിക്സിംഗ് പ്രക്രിയയിലൂടെയും ഒരു നിശ്ചിത അനുപാതത്തിൽ കലർത്തുന്നു. ഉയർന്ന സാന്ദ്രതയും സ്ഥിരതയുള്ള ക്രിസ്റ്റൽ ഘടനയും ഏകീകൃത പ്രതിരോധശേഷി വിതരണവുമുള്ള സെറാമിക് ഇലക്ട്രോസ്റ്റാറ്റിക് ചക്കുകൾ സിൻ്ററിംഗ് ഉപകരണങ്ങളിൽ ഒരു നിശ്ചിത സിൻ്ററിംഗ് താപനില കർവ് ഉപയോഗിച്ച് സിൻ്റർ ചെയ്തു. സെറാമിക് കോഗ്യുലേഷൻ സാങ്കേതികവിദ്യ ഉപയോഗിച്ച് നിർമ്മിക്കുന്ന സ്റ്റാറ്റിക് ചക്കിന് ഉയർന്ന സാന്ദ്രത, സ്ഥിരതയുള്ള ക്രിസ്റ്റൽ ഘടന, യൂണിഫോം വോളിയം റെസിസ്റ്റിവിറ്റി ഡിസ്ട്രിബ്യൂഷൻ എന്നിവയുണ്ട്, കൂടാതെ ഉയർന്ന വാക്വം, പ്ലാസ്മ, ഹാലോജൻ എന്നിവയ്ക്ക് കീഴിൽ കഠിനമായ അന്തരീക്ഷത്തിൽ ചിപ്പിൻ്റെ സാധാരണ ക്ലാമ്പിംഗ് പ്രവർത്തനം മനസ്സിലാക്കാൻ കഴിയും.

    Al₂O₃ ഇലക്ട്രോസ്റ്റാറ്റിക് ചക്ക്

    ദൈർഘ്യമേറിയ ഹോൾഡിംഗ് ഫോഴ്‌സ് ലഭിക്കുന്നതിന് കോഗ്യുലേഷൻ സെറാമിക് സാങ്കേതികവിദ്യയും കോ-ഫയറിംഗ് പ്രക്രിയയും ഉപയോഗിച്ചാണ് വോളിയം റെസിസിവിറ്റി നിയന്ത്രിക്കുന്നത്.
    ഉയർന്ന താപനില സിൻ്ററിംഗിൻ്റെ ആന്തരിക ഘടന ഇടതൂർന്നതും ക്രിസ്റ്റൽ ഘടന സ്ഥിരതയുള്ളതുമാണ്, കൂടാതെ ഒരു വലിയ താപനില ഇടവേളയുടെ ഹോൾഡിംഗ് കപ്പാസിറ്റി ലഭിക്കും.
    സംയോജിത കോ-ഫയറിംഗ് മോൾഡിംഗ് അയോൺ മൈഗ്രേഷൻ കുറയ്ക്കുന്നു.
    പ്ലാസ്മ ഹാലൊജൻ വാക്വം അന്തരീക്ഷത്തിൽ നീണ്ടുനിൽക്കുന്ന പ്രവർത്തനം.

    AlN ഇലക്ട്രോസ്റ്റാറ്റിക് ചക്ക്

    കോൺക്രീറ്റ് മെറ്റീരിയലിൻ്റെ ഘടനയും അനുപാതവും നിയന്ത്രിക്കുന്നതിലൂടെ, വോളിയം പ്രതിരോധശേഷി നിയന്ത്രിക്കാനും ഒരു വലിയ താപനില ഇടവേളയിൽ ഹോൾഡിംഗ് ശേഷി നേടാനും കഴിയും.
    കോൺക്രീറ്റ് സെറാമിക്സിൻ്റെ സിൻ്ററിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യയും കോ-ഫയറിംഗ് പ്രക്രിയയും ഉപയോഗിച്ച് ഏകീകൃത താപനില മേഖല വിതരണം ഉറപ്പാക്കുന്നു.
    ഉൽപ്പന്ന ഗുണനിലവാരം വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നതിന് സംയോജിത കോ-ഫയറിംഗ് മോൾഡിംഗ്.
    പ്ലാസ്മ ഹാലൊജൻ വാക്വം അന്തരീക്ഷത്തിൽ നീണ്ടുനിൽക്കുന്ന പ്രവർത്തനം.

    ഹീറ്റർ ഉള്ള സെറാമിക്സ് ഇലക്ട്രോസ്റ്റാറ്റിക് ചക്ക്

    ഇതിന് ഒന്നിലധികം തപീകരണ താപനില മേഖലകളുടെ ലേഔട്ട് തിരിച്ചറിയാൻ കഴിയും, കൂടാതെ നല്ല ചൂടാക്കൽ താപനില ഏകീകൃതത (±7.5%℃@350℃) ഉണ്ട്.
    വാക്വം ലാമിനേറ്റിംഗ് സിൻ്ററിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യ വളരെ ഉയർന്ന സാന്ദ്രത കൈവരിക്കാനും 550 ഡിഗ്രി വരെ ചൂടാക്കാനും ഉപയോഗിക്കുന്നു.
    ഉൽപ്പന്ന ഗുണനിലവാരം വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നതിന് സംയോജിത കോ-ഫയറിംഗ് മോൾഡിംഗ്.
    പ്ലാസ്മ ഹാലൊജൻ വാക്വം അന്തരീക്ഷത്തിൽ നീണ്ടുനിൽക്കുന്ന പ്രവർത്തനം.

    കോംപ്ലക്സ് തരം ഇലക്ട്രോസ്റ്റാറ്റിക് ചക്ക് / ഹീറ്റർ

    സിലിക്കൺ, ഗാലിയം ആർസെനൈഡ്, സിലിക്കൺ കാർബൈഡ്, വേഫർ ക്ലാമ്പിംഗിൻ്റെ സഫയർ എന്നിവയുമായി പൊരുത്തപ്പെടാൻ കഴിയും, ഉപകരണ നിർമ്മാതാക്കളുടെയും അന്തിമ ഉപയോക്താക്കളുടെയും വയർ മാറ്റ ചെലവ് കുറയ്ക്കാൻ കഴിയും. കോൺക്രീറ്റ് സെറാമിക് സാങ്കേതികവിദ്യയും പോളിമർ മോഡിഫിക്കേഷൻ സാങ്കേതികവിദ്യയും അടിസ്ഥാനമാക്കി, സംയോജിത വാക്വം ലാമിനേഷൻ, ഹോട്ട് ബോണ്ടിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യ എന്നിവയുടെ ഉപയോഗം ഇലക്ട്രോസ്റ്റാറ്റിക് സക്കറിൻ്റെ ആന്തരിക താപ പ്രതിരോധം കുറയ്ക്കാനും ആന്തരിക താപനില ഏകതാനത കൈവരിക്കാനും അയോൺ മൈഗ്രേഷൻ പ്രതിരോധ പ്രകടനം മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നതിന് ഇടതൂർന്ന വൈദ്യുത ഇൻസുലേഷൻ പാളി രൂപപ്പെടുത്താനും കഴിയും.

    കോംപ്ലക്സ് തരം ഇലക്ട്രോസ്റ്റാറ്റിക് ചക്ക്

    കോൺക്രീറ്റ് സെറാമിക്, പോളിമർ മോഡിഫിക്കേഷൻ സാങ്കേതികവിദ്യയുടെ ഉപയോഗം, ഉയർന്ന സാന്ദ്രമായ ഘടനയും കുറഞ്ഞ വാതക റിലീസും ഉണ്ട്.
    വൈദ്യുത പാളിയുടെയും ഇലക്ട്രോഡ് ബാങ്ക് കനത്തിൻ്റെയും കർശനമായ നിയന്ത്രണം.
    ക്ലാമ്പിംഗ് ഒബ്‌ജക്റ്റുകളുടെ വൈവിധ്യം വ്യത്യസ്ത വേഫറുകളുടെ ക്ലാമ്പിംഗുമായി പൊരുത്തപ്പെടും.
    ശക്തമായ ഇലക്ട്രോസ്റ്റാറ്റിക് ഹോൾഡിംഗ് കപ്പാസിറ്റി ലഭിക്കുന്നതിന് ശരീരത്തിൻ്റെ പ്രതിരോധശേഷി കൃത്യമായി നിയന്ത്രിക്കാനാകും.
    ഉയർന്ന ചെലവ് പ്രകടനം, ചെറിയ സ്വീകാര്യത കാലയളവ്, ഉൽപ്പന്ന പ്രക്രിയ വികസനത്തിനും പുതിയ ഉപകരണ വികസന പരിശോധനയ്ക്കും അനുയോജ്യമാണ്.

    ഹീറ്റർ ഉള്ള സങ്കീർണ്ണ തരം ഇലക്ട്രോസ്റ്റാറ്റിക് ചക്ക്

    ഇതിന് ഒന്നിലധികം തപീകരണ താപനില മേഖലകളുടെ ലേഔട്ട് തിരിച്ചറിയാൻ കഴിയും, കൂടാതെ നല്ല ചൂടാക്കൽ താപനില ഏകീകൃതത (±3.5%℃@150℃) ഉണ്ട്.
    വളരെ ഉയർന്ന സാന്ദ്രതയും 200 ഡിഗ്രി സെൽഷ്യസ് വരെ ചൂടാക്കൽ താപനിലയും കൈവരിക്കാൻ വാക്വം ലാമിനേറ്റിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യ ഉപയോഗിക്കുന്നു.
    ഊഷ്മാവ് കർവ് ക്രമീകരണങ്ങളുടെ വിശാലമായ ശ്രേണിയുള്ള ഏകീകൃത തപീകരണ വക്രം.
    ഉയർന്ന ചെലവ് പ്രകടനം, ചെറിയ സ്വീകാര്യത കാലയളവ്, ഉൽപ്പന്ന പ്രക്രിയ വികസനത്തിനും പുതിയ ഉപകരണ വികസന പരിശോധനയ്ക്കും അനുയോജ്യമാണ്.