ഫീച്ചറുകൾ
അനുയോജ്യത | കസ്റ്റമൈസേഷൻ | ഉയർന്ന സാന്ദ്രത | ഉയർന്ന ഘടനാപരമായ ശക്തി | ഫാസ്റ്റ് ഡെലിവറി സമയം | ചെലവ് കുറഞ്ഞതാണ്
അപേക്ഷകൾ
ലോൺ-ഇംപ്ലാൻ്റേഷൻ | നേർത്ത ഫിലിം | Etch | പ്രക്രിയ വികസനം | ഉപകരണ രൂപകൽപ്പന
രൂപകൽപ്പനയും നിർമ്മാണവും
12 ഇഞ്ച് ഫാബ് യഥാർത്ഥ പ്രകടനം പരിശോധിക്കുന്നതിനും പുനരുജ്ജീവനവും അറ്റകുറ്റപ്പണികളും നൽകുന്നതിനും വികസനവും രൂപകൽപ്പനയും പരിശോധിക്കുന്നതിനും വിതരണം ചെയ്തു.
അർദ്ധചാലകത്തിൻ്റെയും ഇൻ്റഗ്രേറ്റഡ് സർക്യൂട്ടിൻ്റെയും പ്രോസസ്സ് ഉപകരണങ്ങളും പ്രോസസ് ടെക്നോളജി ഡെവലപ്മെൻ്റും ഉപയോഗിച്ച്, ഓർഗാനിക് പോളിമർ മെറ്റീരിയലുകൾ, മെറ്റൽ ഓക്സൈഡുകൾ, സെറാമിക് വസ്തുക്കൾ എന്നിവ ഡൈഇലക്ട്രിക്സായി ഉപയോഗിക്കുന്ന പരമ്പരാഗത ഇലക്ട്രോസ്റ്റാറ്റിക് ചക്കുകൾ സിലിക്കൺ വേഫറുകൾ, നീലക്കല്ല്, സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് തുടങ്ങിയ വസ്തുക്കളുമായി പൂർണ്ണമായും പൊരുത്തപ്പെടുന്നില്ല. അതിനാൽ, ഒന്നും രണ്ടും മൂന്നും തലമുറയിലെ അർദ്ധചാലക വേഫർ ഗ്രിപ്പറുകൾക്ക് അനുയോജ്യമായ ഇലക്ട്രോസ്റ്റാറ്റിക് ചക്കുകൾ ക്രമേണ വികസിക്കും.
പോളിമർ ഇലക്ട്രോസ്റ്റാറ്റിക് ചക്ക് / ഹീറ്റർ
പോളിമർ ഡൈഇലക്ട്രിക് മെറ്റീരിയൽ (പോളിമർ) നിലവിൽ ഏറ്റവും വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്ന ഇലക്ട്രോസ്റ്റാറ്റിക് ചക്ക് മെറ്റീരിയലാണ്, അതിൻ്റെ തയ്യാറെടുപ്പ് പ്രക്രിയയും പോളിമർ പരിഷ്ക്കരണ ചികിത്സയ്ക്ക് ശേഷമുള്ള ഏറ്റവും പക്വമായ, പോളിമർ ഡൈഇലക്ട്രിക് മെറ്റീരിയലാണ്, ഇലക്ട്രിക്കൽ, മെക്കാനിക്കൽ, താപനില പ്രതിരോധം, ഹാലൊജൻ പ്രതിരോധശേഷി എന്നിവ വളരെയധികം മെച്ചപ്പെടുത്തും. ഡൈഇലക്ട്രിക് മെറ്റീരിയൽ മറ്റ് സംയോജിത പ്രവർത്തനങ്ങളാൽ പാറ്റേൺ ചെയ്യുന്നു, തുടർന്ന് മൾട്ടിസ്റ്റേജ് വാക്വം ഹെവി ലോഡ് ഉപയോഗിച്ച് ലേയേർഡ് ചെയ്യുന്നു, കൂടാതെ ആന്തരിക ഇലക്ട്രോഡുകൾക്കിടയിൽ ഇടതൂർന്ന വൈദ്യുത ഇൻസുലേഷൻ പാളി രൂപം കൊള്ളുന്നു.
പോളിമർ ഇലക്ട്രോസ്റ്റാറ്റിക് ചക്ക്
ഉയർന്ന ബൾക്ക് റെസിസ്റ്റിവിറ്റിയും ആപേക്ഷിക വൈദ്യുത സ്ഥിരതയും നേടുന്നതിനും കൂടുതൽ സ്ഥിരതയുള്ള ക്ലാമ്പിംഗ് ഫോഴ്സ് നേടുന്നതിനും പോളിമർ പരിഷ്ക്കരണ സാങ്കേതികവിദ്യ ഉപയോഗിക്കുന്നു.
ഹൈ ഡെൻസിറ്റി ഡൈഇലക്ട്രിക് മെറ്റീരിയലുകൾക്ക് കണികാ ദ്രവ്യത്തിൻ്റെ അപകടസാധ്യത കുറയ്ക്കാനും അയോൺ മൊബിലിറ്റി കുറയ്ക്കാനും കഴിയും.
ക്ലാമ്പിംഗ് ഒബ്ജക്റ്റുകളുടെ വൈവിധ്യം വ്യത്യസ്ത മെറ്റീരിയലുകളുടെ വേഫറുകളുടെ ക്ലാമ്പിംഗുമായി പൊരുത്തപ്പെടാം.
ഹാലൊജനിലും പ്ലാസ്മ അന്തരീക്ഷത്തിലും മികച്ച നാശന പ്രതിരോധം.
ഉയർന്ന ചെലവ് പ്രകടനം, ചെറിയ സ്വീകാര്യത കാലയളവ്, ഉൽപ്പന്ന പ്രക്രിയ വികസനത്തിനും പുതിയ ഉപകരണ വികസന പരിശോധനയ്ക്കും അനുയോജ്യമാണ്.
Al₂O₃ ഇലക്ട്രോസ്റ്റാറ്റിക് ചക്ക്
ദൈർഘ്യമേറിയ ഹോൾഡിംഗ് ഫോഴ്സ് ലഭിക്കുന്നതിന് കോഗ്യുലേഷൻ സെറാമിക് സാങ്കേതികവിദ്യയും കോ-ഫയറിംഗ് പ്രക്രിയയും ഉപയോഗിച്ചാണ് വോളിയം റെസിസിവിറ്റി നിയന്ത്രിക്കുന്നത്.
ഉയർന്ന താപനില സിൻ്ററിംഗിൻ്റെ ആന്തരിക ഘടന ഇടതൂർന്നതും ക്രിസ്റ്റൽ ഘടന സ്ഥിരതയുള്ളതുമാണ്, കൂടാതെ ഒരു വലിയ താപനില ഇടവേളയുടെ ഹോൾഡിംഗ് കപ്പാസിറ്റി ലഭിക്കും.
സംയോജിത കോ-ഫയറിംഗ് മോൾഡിംഗ് അയോൺ മൈഗ്രേഷൻ കുറയ്ക്കുന്നു.
പ്ലാസ്മ ഹാലൊജൻ വാക്വം അന്തരീക്ഷത്തിൽ നീണ്ടുനിൽക്കുന്ന പ്രവർത്തനം.