Leave Your Message
അൾട്രാ പ്രിസിഷൻ മോഷൻ പ്ലാറ്റ്‌ഫോമിനും ഡിറ്റക്ഷൻ ഉപകരണങ്ങൾക്കുമായി സ്‌ക്വയർ ബീം & ഗൈഡ് റെയിൽ

പ്രധാന ഉൽപ്പന്നം

ഉൽപ്പന്ന വിഭാഗങ്ങൾ
തിരഞ്ഞെടുത്ത ഉൽപ്പന്നം

അൾട്രാ പ്രിസിഷൻ മോഷൻ പ്ലാറ്റ്‌ഫോമിനും ഡിറ്റക്ഷൻ ഉപകരണങ്ങൾക്കുമായി സ്‌ക്വയർ ബീം & ഗൈഡ് റെയിൽ

സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് എയർ ഫ്ലോട്ടിംഗ് മൂവ്‌മെൻ്റ് പ്ലാറ്റ്‌ഫോം, സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് അൾട്രാ പ്രിസിഷൻ മൊബൈൽ പ്ലാറ്റ്‌ഫോം, സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് ഗൈഡ് റെയിൽ, സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സ്ലൈഡ് റെയിൽ, സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് വാക്വം സക്കർ, സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് മിറർ, സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് ബീം, സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സീരീസ്, സിലിക്കൺ ടേബിൾ കാർബൈഡ് സീരീസ്. ലിത്തോഗ്രാഫി മെഷീൻ്റെ ഘടനാപരമായ ഭാഗങ്ങൾ ലിത്തോഗ്രാഫി മെഷീൻ്റെ പ്രധാന ഘടകങ്ങളിലൊന്നാണ്. നിർദ്ദിഷ്ട ചലന പാതയ്ക്ക് അനുസൃതമായി അതിവേഗ അൾട്രാ-പ്രിസിഷൻ മൂവ്മെൻ്റ് നടത്തുന്നതിന് വേഫർ കൊണ്ടുപോകുക എന്നതാണ് ഇതിൻ്റെ പ്രധാന പ്രവർത്തനം ഉയർന്ന വേഗതയുള്ള ചലനത്തിൻ്റെ കാര്യത്തിൽ 2nm.

    വാക്വം ചക്ക് അസംബ്ലി ഒരു ഉദാഹരണമായി എടുത്താൽ, ആദ്യകാല 2 ഇഞ്ച്, 4 ഇഞ്ച് വേഫർ യുഗത്തിൽ ഉപയോഗിച്ചിരുന്ന മെറ്റീരിയൽ ഏവിയേഷൻ അലൂമിനിയമാണ്, എന്നാൽ വലിയ വലിപ്പമുള്ള കാലഘട്ടത്തിൽ അത് അൾട്രാ-ഹൈ ഫ്ലാറ്റ്നെസ് (1 മൈക്രോണിൽ കൂടുതൽ) തടസ്സം നേരിട്ടു. വേഫറുകൾ (8 "ഒപ്പം 8-ലധികം"), അത് അൾട്രാ-ഹൈ ഫ്ലാറ്റ്നസിൻ്റെ ഹാർഡ് ഇൻഡക്‌സ് പാലിക്കാൻ കഴിയാത്തതും ഒഴിവാക്കപ്പെടുന്നതുമാണ്. അടുത്തതായി, അലുമിന മെറ്റീരിയൽ ഒരു പരിവർത്തനം, അതിൻ്റെ ഇലാസ്റ്റിക് മോഡുലസ്, ഭാരം കുറഞ്ഞ, താപ ചാലകത വിപുലീകരണ ഗുണകം, സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് കുള്ളൻ, എന്നാൽ ചില ലജ്ജാകരമായ ന്; വലിയ വലിപ്പവും സങ്കീർണ്ണവുമായ പ്രത്യേക ആകൃതിയിലുള്ള പൊള്ളയായ ഘടനയുള്ള സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക്സിൻ്റെ തയ്യാറെടുപ്പ് സാങ്കേതികവിദ്യയിലെ മുന്നേറ്റത്തിന് ശേഷം, അൾട്രാ പ്രിസിഷൻ വർക്ക്പീസ് ബേസ്, അൾട്രാ പ്രിസിഷൻ എയർ ഫ്ലോട്ട് ഗൈഡ്, വേഫർ ട്രാൻസ്മിഷൻ ആം എന്നിവ ഉൾപ്പെടെയുള്ള ഘടകങ്ങൾ നവീകരിച്ചു.

    മുകളിൽ സൂചിപ്പിച്ച സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് ഭാഗങ്ങൾ മാത്രമല്ല, അർദ്ധചാലക വ്യവസായത്തിലെ വേഫർ ഡിഫ്യൂഷൻ, ഡോപ്പിംഗ്, എച്ചിംഗ് പ്രക്രിയകൾക്ക് ആവശ്യമായ ഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ള സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് ഭാഗങ്ങൾക്കായി, പരന്നത, സമാന്തരത, ലംബത എന്നിവയിലെ അൾട്രാ-ഹൈ പ്രിസിഷൻ ഹാർഡ് സൂചകങ്ങൾ പാലിക്കുന്നു. , പ്രത്യേകിച്ച് ഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ള CVDSiC മെറ്റീരിയൽ തയ്യാറാക്കൽ സാങ്കേതികവിദ്യയിൽ, ഒരു മുതിർന്ന പ്രോസസ്സ് സാങ്കേതികവിദ്യയുണ്ട്, കൂടാതെ ഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ള സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് ക്രിസ്റ്റൽ ബോട്ട്, സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് ബെയറിംഗ് പ്ലേറ്റ്, സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് എയർ ഫ്ലോട്ടിംഗ് മൂവ്മെൻ്റ് പ്ലാറ്റ്ഫോം, സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് അൾട്രാ എന്നിവയുടെ നിർമ്മാണം തിരിച്ചറിഞ്ഞു. -പ്രിസിഷൻ മൂവിംഗ് പ്ലാറ്റ്ഫോം, സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് ഗൈഡ് റെയിൽ, സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സ്ലൈഡ് റെയിൽ ഘടകങ്ങൾ.

    ഭാവിയിൽ, അർദ്ധചാലക വ്യവസായത്തിൽ സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് വസ്തുക്കളുടെ പ്രയോഗം ഞങ്ങൾ കൂടുതൽ വിപുലീകരിക്കുകയും അർദ്ധചാലക വ്യവസായ ശൃംഖലയുടെയും സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് വ്യവസായത്തിൻ്റെയും നവീകരണത്തിന് സംഭാവന നൽകുകയും ചെയ്യും. ചൈനയുടെ പ്രിസിഷൻ സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് ഘടകങ്ങളുടെ സ്വതന്ത്ര ഗവേഷണവും ആഭ്യന്തര ആപ്ലിക്കേഷൻ പ്രൊമോഷനും ഇപ്പോൾ ആരംഭിച്ചു, അർദ്ധചാലക വ്യവസായത്തിൻ്റെ ശക്തമായ വികസനത്തോടെ, ഇത്തരത്തിലുള്ള ഉയർന്ന നിലവാരമുള്ള സെറാമിക് ഘടനയ്ക്കുള്ള വിപണി ആവശ്യം കൂടുതൽ വലുതായിരിക്കും, സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് അതിൻ്റെ മികച്ച ശാരീരികവും രാസ ഗുണങ്ങൾ, അർദ്ധചാലക വ്യവസായത്തിൽ വിശാലമായ പ്രയോഗ സാധ്യതകളുണ്ട്.

    സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക്സിന് ഊഷ്മാവിൽ മികച്ച മെക്കാനിക്കൽ ഗുണങ്ങളുണ്ട്, ഉദാഹരണത്തിന്, ഉയർന്ന വളയുന്ന ശക്തി, മികച്ച ഓക്സിഡേഷൻ പ്രതിരോധം, നല്ല നാശന പ്രതിരോധം, ഉയർന്ന വസ്ത്ര പ്രതിരോധം, കുറഞ്ഞ ഘർഷണ ഗുണകം എന്നിവ മാത്രമല്ല, ഉയർന്ന താപനില മെക്കാനിക്കൽ ഗുണങ്ങളും (ശക്തി, ഇഴയുന്ന പ്രതിരോധം മുതലായവ) ഏറ്റവും അറിയപ്പെടുന്ന സെറാമിക് മെറ്റീരിയലുകളാണ്. സിലിക്കൺ കാർബൈഡിന് നാശന പ്രതിരോധം, ഉയർന്ന താപനില പ്രതിരോധം, ഉയർന്ന ശക്തി, നല്ല താപ ചാലകത, ആഘാത പ്രതിരോധം... തുടങ്ങിയ സവിശേഷതകളുണ്ട്.

    വർക്ക്പീസ് ടേബിൾ ഘടനയ്‌ക്കായുള്ള ലിത്തോഗ്രാഫി മെഷീൻ്റെ ആവശ്യകതകൾ: അൾട്രാ-ലൈറ്റ് (മോഷൻ ജഡത്വം കുറയ്ക്കുക, മോട്ടോർ ലോഡ് കുറയ്ക്കുക), അൾട്രാ-ഹൈ സ്റ്റബിലിറ്റി (അൾട്രാ-പ്രിസിഷൻ മെഷീനിംഗിന് ഉയർന്ന കൃത്യതയുള്ള ചലനവും സ്ഥാനനിർണ്ണയവും ആവശ്യമാണ്, താപ വികാസത്തിൻ്റെയും മറ്റ് ഘടകങ്ങളുടെയും കുറഞ്ഞ അളവിലുള്ള രൂപഭേദം ആവശ്യമാണ്. ), ശുചിത്വം (ഉയർന്ന കാഠിന്യവും ഉയർന്ന വസ്ത്രധാരണ പ്രതിരോധവും), ഫോട്ടോലിത്തോഗ്രാഫി മെഷീൻ പ്രതിനിധീകരിക്കുന്ന ഇൻ്റഗ്രേറ്റഡ് സർക്യൂട്ട് നിർമ്മാണത്തിൻ്റെ പ്രധാന ഉപകരണങ്ങൾക്കായി വലിയ വലിപ്പം, പൊള്ളയായ നേർത്ത മതിൽ, സങ്കീർണ്ണ ഘടന, കൃത്യതയുള്ള സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് ഘടനാപരമായ ഭാഗങ്ങൾ എന്നിവയുടെ സാങ്കേതിക ആവശ്യകതകൾ നിറവേറ്റാൻ ഇതിന് കഴിയും.

    ഫൗണ്ടൈൽ കഴിവുകൾ

    പരമാവധി വലിപ്പം:1600 മി.മീ.
    ഘടനാപരമായ ഇഷ്‌ടാനുസൃതമാക്കൽ:ഭാരം കുറഞ്ഞ ഘടന, ഭാരം ഘടന കുറയ്ക്കാൻ രൂപകൽപ്പന ചെയ്യാൻ കഴിയും.
    ഉയർന്ന കൃത്യത:5 മൈക്രോണിനുള്ളിലോ അതിലും ഉയർന്ന കൃത്യതയിലോ പരന്നത നിയന്ത്രിക്കാനാകും.