Leave Your Message
Тохиромжтой, өндөр нягтралтай, өндөр бүтэцтэй цахилгаан статик чак.

Бүтээгдэхүүн

Бүтээгдэхүүний ангилал
Онцлох бүтээгдэхүүн
0102030405

Тохиромжтой, өндөр нягтралтай, өндөр бүтэцтэй цахилгаан статик чак.

Электростатик тэнхлэг нь вакуум орчинд ердийн хэрэглээний функцтэй бөгөөд өндөр вакуум плазм эсвэл тусгай хийн орчинд вакуум хавтанг барих, температурыг хянах үүрэг гүйцэтгэдэг бөгөөд хагас дамжуулагч технологийн тоног төхөөрөмжид цахилгаан шинж чанар, тодорхой хэсгүүдийн физик хэлбэрийг өөрчлөхөд тусалдаг. вафель, ингэснээр энэ нь тодорхой функцуудыг харуулдаг. Мөн бусад нарийн төвөгтэй, шаардсан процессуудын тусламжтайгаар ваферийг эцэст нь нарийн төвөгтэй нэгдсэн хэлхээний бүтэц болгон хувиргана. Цахилгаан статик патрон ба цахилгаан статик халаагуур нь хагас дамжуулагч гол процесст өргөн хэрэглэгддэг бөгөөд ион суулгах, сийлбэрлэх, гол процессуудын уурын хуримтлуулах үндсэн бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн нэг юм.

    Онцлогууд

    Тохиромжтой байдал | Тохируулга | Өндөр нягтралтай | Бүтцийн өндөр бат бэх | Хурдан хүргэх хугацаа | Зардал багатай

    Хэрэглээ

    Урт суулгац | Нимгэн хальс | Etch | Процесс боловсруулах | Тоног төхөөрөмжийн дизайн

    Дизайн ба үйлдвэрлэл

    Бодит гүйцэтгэлийг шалгах, нөхөн сэргээх, засварлах, хөгжүүлэлт, дизайныг шалгах зорилгоор 12 инчийн фабыг нийлүүлсэн.


    Хагас дамжуулагч ба нэгдсэн хэлхээний технологийн тоног төхөөрөмж, технологийн дэвшлийг бий болгосноор органик полимер материал, металл исэл, керамик материалыг диэлектрик болгон ашигладаг уламжлалт цахилгаан статик патронууд нь цахиурын хавтан, индранил, цахиурын карбид зэрэг материалуудтай бүрэн нийцэхгүй байна. Тиймээс эхний, хоёр, гурав дахь үеийн хагас дамжуулагч вафель атгагчтай тохирох электростатик патронууд аажмаар хөгжинө.

    Полимер Электростатик Чак / Халаагч

    Полимер диэлектрик материал (Полимер) нь одоогоор хамгийн өргөн хэрэглэгддэг цахилгаан статик патрон материал юм, түүний бэлтгэх үйл явц нь бас хамгийн боловсорч гүйцсэн, полимер диэлектрик материал нь полимер өөрчлөлтийн эмчилгээний дараа, цахилгаан, механик, температурын эсэргүүцэл, галоген эсэргүүцлийн шинж чанар нь ихээхэн сайжирна. Диэлектрик материалыг бусад нэгдмэл үйлдлээр загварчилж, дараа нь олон үе шаттай вакуум хүнд ачааллаар давхарлаж, дотоод электродуудын хооронд нягт диэлектрик тусгаарлагч давхарга үүсдэг.

    Полимер электростатик чак

    Полимерийг өөрчлөх технологийг илүү их хэмжээний эсэргүүцэл ба харьцангуй диэлектрик тогтмолыг олж авах, илүү тогтвортой хавчих хүчийг олж авахад ашигладаг.
    Өндөр нягтралтай диэлектрик материалууд нь тоосонцор үүсэх эрсдлийг бууруулж, ионы хөдөлгөөнийг бууруулдаг.
    Хавчих объектуудын олон талт байдал нь янз бүрийн материалаас бүрсэн хавтангуудыг хавчихтай нийцэж болно.
    Галоген ба плазмын агаар мандалд маш сайн зэврэлтэнд тэсвэртэй.
    Өндөр өртөгтэй гүйцэтгэл, хүлээн авах хугацаа богино, бүтээгдэхүүний үйл явцыг хөгжүүлэх, шинэ тоног төхөөрөмж боловсруулахад тохиромжтой.

    Халаагчтай полимер электростатик чак

    Энэ нь хэд хэдэн халаалтын температурын бүсийн зохион байгуулалтыг (20 хүртэлх температурын бүс) хэрэгжүүлэх боломжтой бөгөөд халаалтын температурын жигд байдал (±5% ℃ @ 150 ℃) байдаг.
    Вакуум цоолборлох технологи нь 200 ° C хүртэл өндөр нягтралтай, халаалтын температурт хүрэхэд ашиглагддаг.
    Нэг төрлийн халаалтын муруй, илүү өргөн хүрээний температурын муруй Тохиргоо.
    Өндөр өртөгтэй гүйцэтгэл, хүлээн авах хугацаа богино, бүтээгдэхүүний үйл явцыг хөгжүүлэх, шинэ тоног төхөөрөмж боловсруулахад тохиромжтой.

    Керамик цахилгаан статик чак / халаагч

    Керамик коагуляцийн технологи нь хөнгөн цагаан/хөнгөн цагаан нитридын керамик электростатик патрон, халаагуурыг боловсруулахад сайжруулсан агломерын процесс юм. Үүний гол цөм нь төрөл бүрийн нанометрийн диаметртэй керамик нунтаг ашиглах бөгөөд тэдгээр нь өвөрмөц холигч төхөөрөмж, холих процессоор тодорхой хувь хэмжээгээр холигддог. Өндөр нягтралтай, тогтвортой болор бүтэцтэй, эсэргүүцлийн жигд тархалттай керамик электростатик патроныг агломерын төхөөрөмжид тодорхой агломерын температурын муруйгаар аглодог. Керамик коагуляцийн технологиор үйлдвэрлэсэн статик чак нь өндөр нягтралтай, тогтвортой болор бүтэцтэй, эзэлхүүний эсэргүүцлийн жигд тархалттай бөгөөд өндөр вакуум, плазм, галоген дор хатуу ширүүн орчинд чипний хэвийн хавчих функцийг гүйцэтгэдэг.

    Al₂O₃ Электростатик Чак

    Эзлэхүүний эсэргүүцлийг коагуляцын керамик технологи, хамтран галлах процессоор удирдаж, удаан барих хүчийг олж авдаг.
    Өндөр температурт синтеринг хийх дотоод бүтэц нь нягт бөгөөд болор бүтэц нь тогтвортой бөгөөд илүү том температурын интервалын багтаамжийг олж авах боломжтой.
    Хамтарсан шатаах хэлбэр нь ионы шилжилтийг бууруулдаг.
    Плазмын галоген вакуум орчинд удаан ажиллах.

    AlN Электростатик Чак

    Бетоны материалын найрлага, пропорцийг хянах замаар эзэлхүүний эсэргүүцлийг хянаж, илүү том температурын интервалд барих чадварыг олж авах боломжтой.
    Температурын бүсийн жигд хуваарилалт нь бетоны керамикийг агломержуулах технологи, хамтран галлах процессоор хангадаг.
    Бүтээгдэхүүний чанарыг дээд зэргээр нэмэгдүүлэхийн тулд нэгдмэл хамт галлах хэлбэр.
    Плазмын галоген вакуум орчинд удаан ажиллах.

    Халаагууртай керамик электростатик чак

    Энэ нь олон халаалтын температурын бүсийн зохион байгуулалтыг хийж чаддаг бөгөөд халаалтын температурын жигд байдал (±7.5% ℃ @ 350 ℃) байдаг.
    Вакуум цоолборлох синтеринг технологийг 550 ℃ хүртэл өндөр нягтралтай, халаах температурт ашигладаг.
    Бүтээгдэхүүний чанарыг дээд зэргээр нэмэгдүүлэхийн тулд нэгдмэл хамт галлах хэлбэр.
    Плазмын галоген вакуум орчинд удаан ажиллах.

    Цогцолбор төрөл цахилгаан статик Чак / халаагч

    Цахиур, галлийн арсенид, цахиурын карбид, вафель хавчих индранилтай нийцэж, тоног төхөөрөмж үйлдвэрлэгчид болон эцсийн хэрэглэгчдийн утас солих зардлыг бууруулж чадна. Бетоны керамик технологи, полимер өөрчлөлтийн технологид тулгуурлан нэгдсэн вакуум ламинат, халуун холбох технологийг ашигласнаар электростатик соруулагчийн дотоод дулааны эсэргүүцлийг бууруулж, дотоод температурын жигд байдалд хүрч, ионы шилжилтийн эсэргүүцлийн гүйцэтгэлийг сайжруулахын тулд нягт диэлектрик тусгаарлагч давхарга үүсгэдэг.

    Цогцолбор төрлийн электростатик чак

    Бетоны керамик ба полимер өөрчлөлтийн технологийг ашиглах нь илүү нягт бүтэцтэй, хийн ялгаралт багатай байдаг.
    Диэлектрик давхарга ба электродын зузааныг хатуу хянах.
    Хавчих объектуудын олон талт байдал нь янз бүрийн өргүүрийн хавчихтай нийцэж болно.
    Биеийн эсэргүүцлийг нарийн хянаж, илүү хүчтэй электростатик барих чадварыг олж авах боломжтой.
    Өндөр өртөгтэй гүйцэтгэл, хүлээн авах хугацаа богино, бүтээгдэхүүний үйл явцыг хөгжүүлэх, шинэ тоног төхөөрөмж боловсруулахад тохиромжтой.

    Цогцолбор төрөл халаагчтай цахилгаан статик чак

    Энэ нь хэд хэдэн халаалтын температурын бүсийн зохион байгуулалтыг хэрэгжүүлэх боломжтой бөгөөд халаалтын температурын жигд байдал (± 3.5% ℃ @ 150 ℃) байдаг.
    Вакуум цоолборлох технологи нь 200 ° C хүртэл өндөр нягтралтай, халаалтын температурт хүрэхэд ашиглагддаг.
    Нэг төрлийн халаалтын муруй, илүү өргөн хүрээний температурын муруй Тохиргоо.
    Өндөр өртөгтэй гүйцэтгэл, хүлээн авах хугацаа богино, бүтээгдэхүүний үйл явцыг хөгжүүлэх, шинэ тоног төхөөрөмж боловсруулахад тохиромжтой.