Онцлогууд
Тохиромжтой байдал | Тохируулга | Өндөр нягтралтай | Бүтцийн өндөр бат бэх | Хурдан хүргэх хугацаа | Зардал багатай
Хэрэглээ
Урт суулгац | Нимгэн хальс | Etch | Процесс боловсруулах | Тоног төхөөрөмжийн дизайн
Дизайн ба үйлдвэрлэл
Бодит гүйцэтгэлийг шалгах, нөхөн сэргээх, засварлах, хөгжүүлэлт, дизайныг шалгах зорилгоор 12 инчийн фабыг нийлүүлсэн.
Хагас дамжуулагч ба нэгдсэн хэлхээний технологийн тоног төхөөрөмж, технологийн дэвшлийг бий болгосноор органик полимер материал, металл исэл, керамик материалыг диэлектрик болгон ашигладаг уламжлалт цахилгаан статик патронууд нь цахиурын хавтан, индранил, цахиурын карбид зэрэг материалуудтай бүрэн нийцэхгүй байна. Тиймээс эхний, хоёр, гурав дахь үеийн хагас дамжуулагч вафель атгагчтай тохирох электростатик патронууд аажмаар хөгжинө.
Полимер Электростатик Чак / Халаагч
Полимер диэлектрик материал (Полимер) нь одоогоор хамгийн өргөн хэрэглэгддэг цахилгаан статик патрон материал юм, түүний бэлтгэх үйл явц нь бас хамгийн боловсорч гүйцсэн, полимер диэлектрик материал нь полимер өөрчлөлтийн эмчилгээний дараа, цахилгаан, механик, температурын эсэргүүцэл, галоген эсэргүүцлийн шинж чанар нь ихээхэн сайжирна. Диэлектрик материалыг бусад нэгдмэл үйлдлээр загварчилж, дараа нь олон үе шаттай вакуум хүнд ачааллаар давхарлаж, дотоод электродуудын хооронд нягт диэлектрик тусгаарлагч давхарга үүсдэг.
Полимер электростатик чак
Полимерийг өөрчлөх технологийг илүү их хэмжээний эсэргүүцэл ба харьцангуй диэлектрик тогтмолыг олж авах, илүү тогтвортой хавчих хүчийг олж авахад ашигладаг.
Өндөр нягтралтай диэлектрик материалууд нь тоосонцор үүсэх эрсдлийг бууруулж, ионы хөдөлгөөнийг бууруулдаг.
Хавчих объектуудын олон талт байдал нь янз бүрийн материалаас бүрсэн хавтангуудыг хавчихтай нийцэж болно.
Галоген ба плазмын агаар мандалд маш сайн зэврэлтэнд тэсвэртэй.
Өндөр өртөгтэй гүйцэтгэл, хүлээн авах хугацаа богино, бүтээгдэхүүний үйл явцыг хөгжүүлэх, шинэ тоног төхөөрөмж боловсруулахад тохиромжтой.
Al₂O₃ Электростатик Чак
Эзлэхүүний эсэргүүцлийг коагуляцын керамик технологи, хамтран галлах процессоор удирдаж, удаан барих хүчийг олж авдаг.
Өндөр температурт синтеринг хийх дотоод бүтэц нь нягт бөгөөд болор бүтэц нь тогтвортой бөгөөд илүү том температурын интервалын багтаамжийг олж авах боломжтой.
Хамтарсан шатаах хэлбэр нь ионы шилжилтийг бууруулдаг.
Плазмын галоген вакуум орчинд удаан ажиллах.