0102030405
Бичил сүвэрхэг керамик вакуум чак
Керамик вакуум чакны онцлог
Хүчтэй нэвчилт: жигд агаар нэвчих ба ус нэвтрүүлэх чадвар нь гулсуургүйгээр нунтаглах явцад цахиур ялтсын жигд хүч, нягт шингээлтийг хангах.
Нягт, жигд бүтэцтэй: Бичил сүвэрхэг керамик материал нь нягт, жигд бүтэцтэй, цахиурын тоосыг шингээхэд хялбар биш, патроныг цэвэрлэхэд хялбар байдаг.
Өндөр бат бэх: нунтаглах явцад хэв гажилтгүй, нунтаглах үед цахиур хавтан жигд ачаалалтай байх ба ирмэгийн нуралт, хог хаягдал үүсэх нь тийм ч хялбар биш юм.
Удаан эдэлгээтэй: гадаргуугийн хэлбэрийг хадгалах чадвар сайтай, хувцаслах хугацаа урт, боолтны хэмжээ бага байдаг тул ашиглалтын хугацаа өндөр.
Хялбар хувцаслах: хувцаслах үед хагарал, хуваагдал, бутлах үзэгдэл байхгүй болно.
Хөнгөн жинтэй: Нүхний дотоод бүтцээс шалтгаалан хувийн жингийн коэффициент 1.6-2.8 байна.
Өндөр тусгаарлагч: тусгаарлагч материал, статик цахилгааныг арилгана.
Нарийвчлалын хяналт
ангилал | Үндсэн материал | Шингээх гадаргуугийн материал | Хэмжээ | Хавтгай байдал | параллелизмын гүн |
Сүвэрхэг чак | Хөнгөн цагааны хайлш | Сүвэрхэг SIC | ≤12μm | ≤15μm | ≤20μm |
Зэвэрдэггүй ган | ≤10μm | ≤15μm | |||
Хөнгөн цагааны исэл | ≤5μm | ≤8μm | |||
Цахиурын карбид | ≤3μm | ≤8μm | |||
Сүвэрхэг керамик чак нь 3 инчийн шугам, 4 инчийн шугам, 5 инчийн шугам, 6 инчийн шугам, 8 инчийн шугам, 12 инчийн шугамд ашиглаж болохуйц техникийн үзүүлэлтүүд болон хэмжээтэй бүрэн хэмжээний бөгөөд Танд хэрэгтэй үзүүлэлт, хэмжээсийн дагуу тохируулж болно. | |||||
Одоогийн хэргийн дээд хэмжээ: 1600*1600м, зузаан нь 50мм; |
Сүвэрхэг керамик материалын шинж чанар:
Үндсэн найрлага: хөнгөн цагаан Өнгө: хар, төмөр саарал
Хөнгөн цагааны агууламж: 92% Чийгийн агууламж: 0%
Апертур: 2~30um Сүвэрхэг чанар: 35~40%
Гулзайлтын хүч: 6кгф/см2 (Мпа) Эзлэхүүний харьцаа: 2.28г/см3
Керамик савны төрөл
Ашиглалтын дагуу керамик ганыг дараахь байдлаар хуваана.
Нимгэнжүүлэх машин нь: зүлгүүрийн диск, цахиур хавтан, индранил субстрат болон бусад сийрэгжүүлэх;
Зүсэх машин нь дараахь зүйлсээр тоноглогдсон: скрипт чак, цахиурын хавтан, хагас дамжуулагч нийлмэл хавтан болон бусад зүсэлт;
Цэвэрлэгээний машин тоноглогдсон: цэвэрлэх чак;
Кино зайлуулах машин нь дараахь зүйлсээр тоноглогдсон: хальс арилгах патрон;
Ламинатын машин нь: цоолборлох чак;
Хэвлэх машин тоноглогдсон: хэвлэх чак.
Чанарын баталгаа
Fountyl нь керамик шаазан бүтээгдэхүүний үйлдвэрлэлийн тогтвортой байдал, тууштай байдлыг хангах үүднээс керамикийн нарийн болон хэт нарийн боловсруулалт, үйлдвэрлэл, төрөл бүрийн физик, химийн шинжилгээний багаж, геометрийн хэмжилтийн хэрэгслүүдээр олон жилийн техникийн туршлагатай.
Бүтээгдэхүүний хэрэглээ
Сүвэрхэг чак (шингээх ажлын ширээ) нь хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн үе шатанд хэрэглэгддэг бүрэлдэхүүн хэсэг бөгөөд скрипт машин эсвэл хяналтын төхөөрөмж дээр угсардаг. Энэ нь ажлын ширээний гадаргуугийн сүвэрхэг бүтэц, сөрөг даралтыг ашиглан нимгэн силикон өрөмийг тэгшхэн байлгах боломжтой бүтээгдэхүүн юм. Цахиур хайчлах машин нь 20мкм өргөнтэй цахиур хавтанг огтолдог тул вафель шингээх гадаргуугийн тэгш байдал, параллелизмын шаардлага маш өндөр байдаг. Тус тусын шинж чанаруудын дагуу янз бүрийн нүх сүвний бүтэц нь өөр өөр хэрэглээний хүрээтэй байдаг, тухайлбал, нянгийн шүүлтүүр, бичил биетний бэхэлгээний талбарт ихэвчлэн ашиглагддаг том өвөрмөц гадаргуутай, жижиг нүхний хэмжээтэй бичил сүвэрхэг керамик; Мезопорозын керамик нь тодорхой диаметртэй тархалттай, ихэвчлэн ялгах, шингээх катализын талбарт ашиглагддаг. Их хэмжээний сүвэрхэг керамик нь ихэвчлэн их хэмжээний агууламжтай, том хэмжээтэй бодисыг барзгар шүүж авахад тохиромжтой.