अल्ट्रा-प्रिसिजन मोशन प्लॅटफॉर्म आणि शोध उपकरणांसाठी स्क्वेअर बीम आणि मार्गदर्शक रेल

व्हॅक्यूम चक असेंब्लीचे उदाहरण घेतल्यास, सर्वात आधीच्या 2 इंच आणि 4 इंच वेफर युगात वापरलेली सामग्री विमानचालन ॲल्युमिनियम आहे, परंतु मोठ्या आकाराच्या युगात त्याला अति-उच्च सपाटपणाचा (1 मायक्रॉनपेक्षा चांगला) अडथळे आले आहेत. वेफर्स (8 "आणि 8" पेक्षा जास्त), जे अति-उच्च सपाटपणाचे कठोर निर्देशांक पूर्ण करू शकत नाहीत आणि काढून टाकले जातात. पुढे, संक्रमण म्हणून ॲल्युमिना सामग्री, त्याचे लवचिक मॉड्यूलस, हलके वजन, थर्मल चालकता आणि विस्तार गुणांक आणि सिलिकॉन कार्बाइड बटू, परंतु काही लाजिरवाण्यांवर नाही; मोठ्या आकाराच्या आणि जटिल विशेष-आकाराच्या पोकळ रचना सिलिकॉन कार्बाइड सिरॅमिक्सच्या तयारी तंत्रज्ञानातील प्रगतीनंतर, अल्ट्रा-प्रिसिजन वर्कपीस बेस, अल्ट्रा-प्रिसिजन एअर फ्लोट गाइड आणि वेफर ट्रान्समिशन आर्मसह घटक अपग्रेड केले गेले आहेत.

सेमीकंडक्टर उद्योगातील वेफर डिफ्यूजन, डोपिंग, एचिंग प्रक्रियेसाठी आवश्यक असलेल्या उच्च-शुद्धतेच्या सिलिकॉन कार्बाइड सिरॅमिक भागांसाठी, सपाटपणा, समांतरता आणि उभ्यापणावरील अति-उच्च सुस्पष्टता कठोर निर्देशकांची पूर्तता करणारे उपरोक्त सिलिकॉन कार्बाइड सिरॅमिक भागच नाहीत. , विशेषत: उच्च-शुद्धता CVDSiC मटेरियल तयार करण्याच्या तंत्रज्ञानामध्ये, एक परिपक्व प्रक्रिया तंत्रज्ञान आहे, आणि उच्च-शुद्धता सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक क्रिस्टल बोट, सिलिकॉन कार्बाइड सिरॅमिक बेअरिंग प्लेट, सिलिकॉन कार्बाइड सिरॅमिक एअर फ्लोटिंग मूव्हमेंट प्लॅटफॉर्म, सिलिकॉन कार्बाइड अल्ट्रा यांचे उत्पादन लक्षात आले आहे. -प्रिसिजन मूव्हिंग प्लॅटफॉर्म, सिलिकॉन कार्बाइड गाइड रेल, सिलिकॉन कार्बाइड स्लाइड रेलचे घटक.

भविष्यात, आम्ही सेमीकंडक्टर उद्योगात सिलिकॉन कार्बाइड मटेरियलच्या वापराचा आणखी विस्तार करू आणि सेमीकंडक्टर उद्योग साखळी आणि सिलिकॉन कार्बाइड सिरॅमिक उद्योगाच्या अपग्रेडिंगमध्ये योगदान देऊ. चीनचे अचूक सिलिकॉन कार्बाइड सिरॅमिक घटकांचे स्वतंत्र संशोधन आणि देशांतर्गत अनुप्रयोगाची जाहिरात नुकतीच सुरू झाली आहे, सेमीकंडक्टर उद्योगाच्या जोमदार विकासासह, या प्रकारच्या उच्च-अंत सिरेमिक रचनेची बाजारपेठेतील मागणी अधिकाधिक मोठी होईल, सिलिकॉन कार्बाइड त्याच्या उत्कृष्ट भौतिक आणि रासायनिक गुणधर्म, सेमीकंडक्टर उद्योगात विस्तृत अनुप्रयोग संभावना आहेत.