ASML telah diasaskan pada 1 April 1984 sebagai ASM Lithography. Misi usaha sama antara Philips dan ASM International ini adalah untuk mengkomersialkan PAS 2000, sebuah wafer stepper yang dibangunkan oleh Philips...
Salah satu kelebihan EUV ialah pengurangan langkah pemprosesan cip, dan menggunakan EUV dan bukannya teknologi pendedahan berbilang tradisional akan mengurangkan langkah pemendapan, etsa dan ...