Pengenalan pemanas seramik nitrida aluminium, komponen utama peralatan semikonduktor

Hari ini kami memperkenalkan kepada anda komponen utama peralatan semikonduktor - Pemanas Seramik dan pengeluar berkaitan. Dalam proses pembuatan peranti semikonduktor seperti litar bersepadu, pelbagai rawatan seperti pembentukan filem dan etsa dilakukan pada wafer semikonduktor. Dalam proses pembuatan wafer, wafer perlu dipanaskan pada suhu tertentu, dan keseragaman suhu wafer mempunyai keperluan yang sangat ketat, kerana keseragaman suhu wafer mempunyai kesan yang sangat penting terhadap kualiti cip semikonduktor; Pada masa yang sama, ia juga perlu untuk bekerja dalam vakum, plasma, persekitaran gas kimia, yang memerlukan penggunaan pemanas seramik.

Pemanas seramik adalah komponen penting dalam peranti untuk pemendapan filem semikonduktor, yang boleh mencapai pengedaran suhu seragam, pemanasan seragam wafer, dan membolehkan tindak balas ketepatan tinggi pada permukaan substrat dan pembentukan filem. Secara amnya, pemanas seramik terdiri daripada substrat seramik dengan permukaan pemuatan wafer dan badan sokongan silinder di bahagian belakang untuk memberikan sokongan untuknya. Sebagai tambahan kepada litar elemen pemanas rintangan untuk pemanasan, badan konduktif seperti elektrod RF dan elektrod chuck elektrostatik juga ditetapkan pada dalaman atau permukaan substrat seramik.

Pemanas seramik biasanya menggunakan seramik aluminium nitrida, aluminium nitrida mempunyai penebat elektrik dan kekonduksian haba yang sangat baik, Ia sesuai untuk aplikasi yang memerlukan pelesapan haba; Di samping itu, kerana pekali pengembangan habanya hampir dengan silikon dan mempunyai rintangan plasma yang sangat baik, ia boleh digunakan untuk mengeluarkan komponen peralatan pemprosesan semikonduktor.

Menurut laporan Penyelidikan Business Research Insights, skala pasaran pemanas seramik aluminium nitrida global ialah $33 juta pada 2022, dan ia dijangka mencecah $78.529 juta menjelang 2031, dengan kadar pertumbuhan tahunan kompaun sebanyak 10% dalam tempoh ramalan. Pasaran pemanas seramik global dikuasai oleh syarikat asing, dan pada masa ini, keadaan untuk tahap kawalan sendiri pemanas seramik Singapura adalah konsisten dengan bahagian semikonduktor lain dan bahan mentah utama seperti chuck elektrostatik, dan Singapura dan perusahaan domestik sangat sedikit untuk capai.

Fountyl Technologies PTE Ltd, yang diasaskan pada 2023, telah memecahkan monopoli asing secara beransur-ansur selepas bertahun-tahun penyelidikan dan pembangunan, dan produknya seperti chuck seramik, chuck pin, lengan seramik, rasuk persegi seramik, panduan seramik, sesendal galas, dan meja pemanasan adalah digunakan secara meluas dalam pengeluar peralatan semikonduktor barisan pertama dunia dan perusahaan pembuatan elektronik.

Bergantung pada keupayaan bahan terkemuka dan teknologi pemprosesan dan pembuatan yang kaya, bahagian bahan seramik termajunya meliputi pelbagai bidang hiliran. Seramik termaju digunakan terutamanya dalam peralatan proses pembuatan wafer, dan kini telah memasuki etsa, pemendapan filem, implantasi ion, peralatan litografi dan penyebaran pengoksidaan, dan digunakan dalam peralatan proses semikonduktor kelompok dan proses pengeluaran. Seramik termaju untuk peralatan semikonduktor termasuk silinder toroidal, galas beban, penggenggam dan modul dalam pemanas seramik.