Wafer pin chuck użat għal apparat ta 'espożizzjoni tas-semikondutturi u apparat ta' spezzjoni tal-wejfer
Karatteristiċi
Reżistenza għat-temperatura għolja:Karbur tas-silikonju u materjali taċ-ċeramika tal-alumina għandhom prestazzjoni eċċellenti ta 'temperatura għolja, jistgħu jintużaw f'ambjent ta' temperatura għolja għal żmien twil, mhux faċli għad-deformazzjoni jew il-ksur.
Reżistenza għall-korrużjoni:jista 'jiflaħ varjetà ta' korrużjoni kimika, adattata għall-immaniġġjar ta 'likwidi jew gassijiet korrużivi fl-ambjent tax-xogħol.
Reżistenza għall-ilbies:ebusija għolja, b'reżistenza tajba għall-ilbies, tista 'tintuża għal żmien twil mingħajr falliment.
Assorbiment qawwi:l-istruttura tal-punt konvessi tnaqqas iż-żona ta 'kuntatt tat-tazza tal-ġbid, u b'hekk iżżid il-forza ta' adsorbiment għal kull unità ta 'żona, u tista' tassorbi b'mod aktar sod il-biċċa tax-xogħol.
Stabbiltà għolja:Minħabba l-karatteristiċi tal-materjal, iċ-ċokk tal-pin tal-wejfer għandu stabbiltà għolja u jista 'jaħdem b'mod stabbli għal żmien twil.
Naqqas it-tniġġis:Iċ-ċokks tal-wejfers taċ-ċeramika qed jevolvu minn skanalaturi għal pinnijiet biex inaqqsu l-erja tal-kuntatt, inaqqsu xi tniġġis u jtejbu l-korrezzjoni tal-warping.
Kontroll tal-Proċess
Preċiżjoni għolja: dijametru ta '12-il pulzier, il-flatness hija kkontrollata fi żmien 5 μm; Jekk għandek bżonn aktar preċiżjoni, jekk jogħġbok ibgħatilna email.
Kontroll tal-forma: Aġġusta l-forma taċ-ċokk skont il-forma tal-wejfer (kontroll ta 'nuqqas ta' uniformità).
Ir-rispons assorbenti: Disinn personalizzat skont l-ispeċifikazzjonijiet.
Is-Servizzi Tagħna
L-għażla tal-wafer pin chuck għandha titqies skont fatturi multipli bħad-dijametru meħtieġ tal-ġbid ta 'ġbid, in-numru ta' punti konvessi, u l-forma taċ-ċokk, u tagħmel għażla xierqa skont id-daqs, il-piż tal-adsorbiment oġġett u r-rekwiżiti tal-ambjent tax-xogħol.
Aħna adottajna teknoloġija ta 'magni ċatti ta' preċiżjoni, nimplimentaw disinn kreattiv għall-użanza, u nipprovdu l-aħjar chuck tal-pin tal-wejfer biex nissodisfaw ir-rekwiżiti stretti tal-klijenti.
Il-forma ċatta tal-pin chuck tista 'tiġi aġġustata liberament skont il-forma tal-wejfer, u ż-żona tal-adsorbiment jew il-mudell tal-pin jistgħu jiġu personalizzati biex itejbu r-rispons tal-adsorbiment.
Materjal: Jistgħu jintgħażlu ċeramika tal-ossidu tal-aluminju jew karbur tas-silikon, u DLC u Teflon jistgħu jiġu indurati fuq il-wiċċ.
Qed jiġu żviluppati chucks tal-pinnijiet tal-wejfer SiC/SSiC ta 'preċiżjoni għolja għall-espożizzjoni tal-wejfer, spezzjoni, proċessi ta' trasport li huma flessibbli ħafna, ċatti ħafna, u estremament reżistenti għal ambjenti tax-xogħol ħarxa.
Dejta tat-Test ta' Preċiżjoni
![sdw (2) wzk](https://ecdn6.globalso.com/upload/p/277/image_other/2024-01/6597c7d26042625053.jpg)
![sdw (3) pwr](https://ecdn6.globalso.com/upload/p/277/image_other/2024-01/6597c7c404fe578289.jpg)
![0af19965-9b3b-4d8d-b343-2a7da016f7d7(1)84c](https://ecdn6.globalso.com/upload/p/277/image_other/2024-01/6597d73dc695f48825.jpg)
Applikazzjoni
Iffissar tal-wejfer ta' apparat ta' espożizzjoni tas-semikondutturi; Iffissar tal-wejfer ta' apparat ta' spezzjoni tal-wejfer.