Inleiding over de toepassing van halfgeleiderprecisiekeramiek

Geavanceerde keramiek vormt de basis van de hele basis van de halfgeleiderindustrie. Omdat keramiek de voordelen heeft van een hoge hardheid, hoge elasticiteitsmodulus, hoge slijtvastheid, hoge isolatie, corrosieweerstand, lage uitzetting... enz., kan het worden gebruikt als onderdeel van een siliciumpolijstmachine, epitaxiale/oxidatie/diffusie-warmtebehandelingsapparatuur , lithografiemachine, afzettingsapparatuur, apparatuur voor het etsen van halfgeleiders, ionenimplantatiemachine. Halfgeleiderapparaten vereisen een groot aantal keramische precisiecomponenten. Keramiek voor halfgeleiderapparatuur omvat aluminiumoxide, zirkoniumoxide, siliciumnitride, aluminiumnitride, siliciumcarbide, yttriumoxide... enz. In halfgeleiderapparatuur is de waarde van precisiekeramiek goed voor ongeveer 16%. Halfgeleiderapparatuur is de belangrijkste ondersteuning van de halfgeleiderindustrie en de hoeksteen van de halfgeleiderproductie, en het laatste SEMI-rapport voorspelt dat de wereldwijde verkoop van halfgeleiderapparatuur in 2023 $87 miljard zal bedragen tot $87,4 miljard, en zal worden hersteld tot $100 miljard in 2024.

Met de krachtige ontwikkeling van de binnenlandse halfgeleiderindustrie hebben wafergieterijen fabrieken gebouwd in Zuidoost-Azië, wat heeft geleid tot de verbetering van halfgeleidermaterialen en ondersteunende apparatuur, de toewijzing van buitenlandse toeleveringsketenmiddelen aan de binnenlandse kant, maar ook de opkomst van vele uitstekende lokale Fabrikanten van halfgeleiderapparatuur zullen, onder de trend van binnenlandse ontwikkeling, de vraag naar precisie-keramische onderdelen van halfgeleiderapparatuur toenemen.

Vanwege hun positie en belang in halfgeleiderapparatuur moeten geavanceerde keramische onderdelen voldoen aan de uitgebreide prestatie-eisen van halfgeleiderapparatuur voor materialen op het gebied van mechanische mechanica, hitte-, diëlektrische, zuur- en alkalibestendigheid en plasmacorrosie, en hoge precisie-eisen, omdat keramische onderdelen in halfgeleiderapparatuur apparatuur bevindt zich meestal dicht rond de wafer en sommige maken zelfs rechtstreeks contact met de wafer. Daarom is de controle op metaalionen en deeltjes op het oppervlak uiterst streng. Omdat de productie van keramische componenten voor halfgeleiderapparaten bovendien certificering van originele apparatuurfabrikanten impliceert, behoort het daarom tot de industrie met een hoge exclusiviteitsdrempel. Bovendien kunnen keramische materialen op het gebied van het verpakken en testen van halfgeleiders ook worden gebruikt in verpakkingsvoeringen voor vermogenshalfgeleiderapparaten en testsondekaarten.

De keten van de halfgeleider-keramische industrie omvat de verwerking van halfgeleiderwafels, elektrische halfgeleiderapparaten, het verpakken en testen van downstream-applicatiebedrijven; Lithografieapparatuur, oxidatiediffusieapparatuur, etsapparatuur, droge graveerapparatuur, ionenimplantatieapparatuur, filmdepositieapparatuur, PVD-apparatuur, CVD-apparatuur, atomaire laagdepositie (ALD) apparatuur, chemisch-mechanische polijstapparatuur, lasergloeiapparatuur van hoogwaardige halfgeleiderapparatuur ondernemingen; Poedervoorbereidingsapparatuur, mixer, schuurmachine, driewalsmachine, sproeigranulatieapparatuur, spuitgietmachine, gietmachine, lamineerapparatuur, droogpersapparatuur, voeggietapparatuur, isostatische persapparatuur, zeefdrukapparatuur, ontvettings-, sinterapparatuur, CNC, freesmachine, polijstapparatuur, zandstraalapparatuur, vacuümsoldeerapparatuur, gereedschapsinrichting van productieapparatuur en accessoiresbedrijven; Keramische onderdelen (hanteringsarm, elektrostatische boorkop, keramische verwarmer, voeringring, mondstuk, kamer, sondekaart, keramische splinter... enz.), aluminiumoxide-keramiek, poreus keramiek, zirkoniumoxide-keramiek, aluminiumnitride-keramiek, siliciumnitride-keramiek, siliciumcarbide keramiek, aluminium siliciumcarbide keramiek... enz.