Hjem
Produkter
0102030405
Porøs luftflytende plattform med lastoverføringsteknologi for berøringsfri modus for halvlederindustrien
Den tradisjonelle luftflytende plattformen bruker generelt småhullsgass-, torus- eller spaltegassteknologi, som er preget av enkel prosesseringsteknologi, men når tilførselslufttrykket endres, er det lett å produsere plystrefenomen, lyden er skarp, og lageret kapasiteten svinger også, noe som ikke er egnet for stille og stabilt trykkarbeidsmiljø.
Tradisjonelle TFT-LCD glasssubstrater utføres av robotarmer (Robots) og AGV (Automated guided vehicle) systemer. Glasssubstrat i produksjonsprosessen. Det er en kontaktoperasjon med lastforskyvningsplattformen (eller valsen). Når glasssubstratet er i kontakt med lastforskyvningsplattformen eller rullen, forårsaker berøring og friksjon disse skadene eller defektene problemer med manglende hjørner, sprekker, skader, forurensning og statisk elektrisitet på overflaten av glasssubstratet, og påvirker deretter produksjonen. utbytte og produktkvalitet, i tillegg til bruk av rullerotasjonsoverføringsbelastning, har fortsatt tekniske problemer å overvinne. Disse problemene har en dyp innvirkning på produksjonseffektiviteten til store glasssubstrater, og det er et presserende behov for å forbedre dem. Hvis den berøringsfrie luftflytende plattformteknologien kan erstatte problemene som stammer fra den tradisjonelle kontaktlastforskyvningsteknologien, vil det være en effektiv løsning. Fordeler med luftflytende system:
1. Null friksjon.
2. Null slitasje.
3. Rett bevegelse, rotasjonsbevegelse gjelder.
4. Stille og jevn drift.
5. Høyere demping.
6. Eliminer olje.
Strukturen til den luftflytende plattformen er sammensatt av nanoporøs keramikk innebygd i basen for å danne et vakuumkammer. ren trykkluft med vannfri og oljefri føres inn i luftmodusspalten mellom lagerflaten og den luftflytende styreskinnen gjennom gassrøret. Gassen strømmer i luftmodusspalten for å få lagerflaten til å flyte på den luftflytende styreskinnen. Gassen fungerer som et smøremiddel for å flytte eller transportere gjenstander uten friksjon.
Konstruksjonen for vanlige luftflytende hull:
a) Åpningsreguleringsstruktur
b) Porøs struktur
Den største tilpassede størrelsen: lengde 1600 mm, bredde 1000 mm
Ikke-kontakt transport- og lastskifteutstyr er hovedsakelig for å forbedre problemene forårsaket av tradisjonell håndteringsteknologi etter at glasssubstratet blir større, fordi det i transport- og lastskiftingsprosessen ikke er direkte i kontakt med operasjonsobjektet, slik at det kan unngå forekomsten av forurensningsfeste, stress, statisk elektrisitet og skade på glassunderlaget. Porøst materiale, derimot, reduserer gassstrømmen betydelig, oppnår jevnt lufttrykk og god fordeling av luftpute, og gir tilstrekkelig flytehøyde som kreves for drift.