Firkantet bjelke og styreskinne for ultrapresisjons bevegelsesplattform og deteksjonsutstyr

For å ta vakuumchuckenheten som et eksempel, er materialet som ble brukt i den tidligste 2-tommers og 4-tommers wafer-epoken luftfartsaluminium, men det har møtt flaskehalsen med ultrahøy flathet (bedre enn 1 mikron) i epoken med store størrelser wafere (8 "og mer enn 8"), som ikke kan møte den harde indeksen for ultrahøy flathet og elimineres. Neste, alumina materiale som en overgang, dens elastisitetsmodul, lette vekt, termisk ledningsevne og ekspansjonskoeffisient og silisiumkarbid dverg, men ikke på noen pinlig; Etter gjennombruddet i forberedelsesteknologien til stor størrelse og kompleks spesialformet hulstruktur av silisiumkarbidkeramikk, er komponenter inkludert ultrapresisjons arbeidsstykkebase, ultrapresisjon luftflyteguide og waferoverføringsarm blitt oppgradert.

Ikke bare de ovennevnte keramiske delene av silisiumkarbid som oppfyller de harde indikatorene med ultrahøy presisjon på flathet, parallellitet og vertikalitet, for de keramiske delene av silisiumkarbid med høy renhet som kreves for waferdiffusjon, doping, etseprosesser i halvlederindustrien , spesielt i høyrent CVDSiC-materialeprepareringsteknologi, har en moden prosessteknologi, og har realisert produksjon av høyrent silisiumkarbid keramisk krystallbåt, silisiumkarbid keramisk lagerplate, silisiumkarbid keramisk luftflytende bevegelsesplattform, silisiumkarbid ultra -presisjon bevegelig plattform, silisiumkarbid styreskinne, silisiumkarbid glideskinne komponenter.

I fremtiden vil vi ytterligere utvide bruken av silisiumkarbidmaterialer i halvlederindustrien og bidra til oppgraderingen av halvlederindustrikjeden og silisiumkarbidkeramikkindustrien. Kinas presisjons silisiumkarbid keramiske komponenter uavhengig forskning og innenlands applikasjonsmarkedsføring har nettopp startet, med den kraftige utviklingen av halvlederindustrien, vil markedets etterspørsel etter denne typen high-end keramisk struktur bli mer og mer stor, silisiumkarbid med sin utmerkede fysiske og kjemiske egenskaper, i halvlederindustrien har brede anvendelsesmuligheter.