Wprowadzenie grzejnika ceramicznego z azotku glinu, kluczowego elementu sprzętu półprzewodnikowego

Dziś przedstawiamy Państwu kluczowe komponenty sprzętu półprzewodnikowego – grzejnik ceramiczny i powiązanych producentów. W procesie produkcyjnym urządzeń półprzewodnikowych, takich jak obwody scalone, na płytkach półprzewodnikowych przeprowadza się różne zabiegi, takie jak formowanie folii i trawienie. W procesie produkcji wafla należy go podgrzać do określonej temperatury, a równomierność temperatury wafla ma bardzo rygorystyczne wymagania, ponieważ równomierność temperatury wafla ma bardzo ważny wpływ na jakość chipów półprzewodnikowych; Jednocześnie konieczna jest także praca w środowiskach próżniowych, plazmowych, gazów chemicznych, co wymaga stosowania grzejników ceramicznych.

Grzejniki ceramiczne są ważnymi elementami urządzeń do osadzania folii półprzewodnikowych, które pozwalają na uzyskanie równomiernego rozkładu temperatury, równomiernego nagrzewania płytek oraz umożliwiają bardzo precyzyjną reakcję na powierzchni podłoża i tworzenie filmów. Ogólnie rzecz biorąc, grzejnik ceramiczny składa się z podłoża ceramicznego z powierzchnią ładunkową płytek i cylindrycznym korpusem nośnym z tyłu zapewniającym dla niego podparcie. Oprócz obwodu elementu grzejnego oporowego do ogrzewania, korpus przewodzący, taki jak elektroda RF i elektrostatyczna elektroda uchwytowa, jest również osadzany na wewnętrznej lub powierzchni podłoża ceramicznego.

Grzejniki ceramiczne zwykle wykorzystują ceramikę z azotku glinu, azotek glinu ma izolację elektryczną i doskonałą przewodność cieplną. Jest idealny do zastosowań wymagających rozpraszania ciepła; Ponadto, ponieważ jego współczynnik rozszerzalności cieplnej jest zbliżony do krzemu i ma doskonałą odporność na plazmę, może być stosowany do produkcji elementów sprzętu do przetwarzania półprzewodników.

Według raportu badawczego Business Research Insights, skala globalnego rynku grzejników ceramicznych z azotku glinu w 2022 r. wyniesie 33 mln USD i oczekuje się, że do 2031 r. osiągnie 78,529 mln USD, przy złożonej rocznej stopie wzrostu wynoszącej 10% w okresie prognozy. Światowy rynek grzejników ceramicznych jest zdominowany przez firmy zagraniczne, a obecnie sytuacja w zakresie samoregulującego poziomu grzejników ceramicznych w Singapurze jest zgodna z innymi częściami półprzewodnikowymi i kluczowymi surowcami, takimi jak uchwyt elektrostatyczny, a Singapur i przedsiębiorstwa krajowe są bardzo nieliczne, aby osiągnąć.

Założona w 2023 roku firma Fountyl Technologies PTE Ltd, po latach badań i rozwoju, stopniowo przełamywała zagraniczny monopol, a jej produkty takie jak uchwyt ceramiczny, uchwyty kołkowe, ramiona ceramiczne, belki ceramiczne kwadratowe, prowadnice ceramiczne, tuleje łożyskowe i stoły grzewcze cieszą się coraz większym zainteresowaniem. szeroko stosowane w czołowych na świecie producentach sprzętu półprzewodnikowego i przedsiębiorstwach zajmujących się produkcją elektroniki.

Opierając się na wiodących możliwościach materiałowych oraz bogatej technologii przetwarzania i produkcji, jej zaawansowane części z materiałów ceramicznych obejmują szeroki zakres dalszych dziedzin. Zaawansowana ceramika jest stosowana głównie w sprzęcie do produkcji płytek, a obecnie znalazła zastosowanie w urządzeniach do trawienia, osadzania folii, implantacji jonów, litografii i dyfuzji utleniającej, a także w urządzeniach do okresowego przetwarzania półprzewodników i procesach produkcyjnych. Zaawansowana ceramika do urządzeń półprzewodnikowych obejmuje cylindry toroidalne, elementy nośne, chwytaki i moduły w grzejnikach ceramicznych.