Ceramika z węglika krzemu stosowana w sprzęcie do produkcji półprzewodników/obwodów scalonych

Ceramika z węglika krzemu odgrywa ważną rolę w sprzęcie do produkcji półprzewodników/obwodów scalonych ze względu na ich unikalne właściwości fizyczne i chemiczne. Należy jednak zauważyć, że obecnie badania, rozwój i zastosowanie precyzyjnych ceramicznych części konstrukcyjnych do rdzenia układów scalonych koncentrują się głównie w Stanach Zjednoczonych, Japonii, Europie i innych miejscach i nadal zajmują pozycję absolutnego monopolisty . Dlatego Chiny nadal potrzebują dalszych badań i przełomu w zakresie materiałów ceramicznych z węglika krzemu i powiązanej technologii ich przygotowania.

1, Guchwyt do szlifowania i polerowania

W procesie produkcyjnym uchwytu polerskiego z węglika krzemu materiał ceramiczny z węglika krzemu jest przetwarzany w kształt uchwytu i poddawany specjalnej obróbce procesowej, dzięki czemu jego powierzchnia ma doskonałe właściwości szlifowania i polerowania. Po użyciu uchwyt szlifuje i poleruje powierzchnię przedmiotu obrabianego, pochłaniając powierzchnię przedmiotu obrabianego, wykorzystując twardość i ostrość ceramiki z węglika krzemu do usuwania zanieczyszczeń, takich jak zadziory i tlenki z powierzchni, oraz poprawiać wykończenie i dokładność powierzchnię przedmiotu obrabianego.

Główne cechy uchwytu do szlifowania i polerowania węglika krzemu obejmują:

o Wysoka twardość: ceramika z węglika krzemu ma wyjątkowo wysoką twardość, ustępując jedynie diamentowi, dzięki czemu może skutecznie przeprowadzać operacje szlifowania i polerowania w celu usunięcia defektów i nierówności na powierzchni materiału.

o Wysoka odporność na zużycie: Wysoka twardość ceramiki z węglika krzemu zapewnia również dobrą odporność na zużycie, która może utrzymać niewielkie zużycie podczas długiego procesu szlifowania i polerowania oraz poprawić żywotność narzędzia.

o Wysoka stabilność termiczna: Ceramika z węglika krzemu ma wysoką stabilność termiczną i niski współczynnik rozszerzalności cieplnej, może utrzymać stabilną wydajność w środowisku o wysokiej temperaturze, nadaje się do operacji szlifowania i polerowania w wysokiej temperaturze.

o Dobra stabilność chemiczna: ceramika z węglika krzemu ma dobrą stabilność na większość substancji chemicznych, nie jest łatwa do korozji i erozji oraz może utrzymać stabilną wydajność w różnych środowiskach.

2, uchwyt litograficzny

Uchwyt litograficzny z węglika krzemu odgrywa ważną rolę w procesie produkcji układów scalonych. Może zapewnić stabilne i precyzyjne mocowanie i podparcie płytek krzemowych, aby zapewnić płynny postęp procesu litografii, poprawiając w ten sposób wydajność produkcji i jakość układów scalonych.

Należy zauważyć, że uchwyt litograficzny z węglika krzemu jest kluczowym elementem w produkcji układów scalonych, a jego technologia produkcji i wymagania dotyczące precyzji są bardzo wysokie. Obecnie tylko kilka zagranicznych firm może produkować uchwyty litograficzne spełniające wymagania produkcji układów scalonych, a chińska technologia i produkty w tym obszarze wymagają dalszego rozwoju i udoskonalania.

Główne cechy uchwytu litograficznego z węglika krzemu obejmują:

o wysoka precyzja: Ceramika z węglika krzemu charakteryzuje się wyjątkowo wysoką twardością i dokładnością, co pozwala spełnić wymagania dotyczące wysokiej precyzji mocowania i podparcia płytek krzemowych w procesie produkcji układów scalonych.

o Wysoka stabilność: Ceramika z węglika krzemu ma wysoką stabilność termiczną i niski współczynnik rozszerzalności cieplnej, co pozwala zachować stabilny rozmiar i kształt podczas procesu litografii, aby uniknąć wpływu na dokładność litografii.

o Dobra stabilność chemiczna: ceramika z węglika krzemu ma dobrą odporność na większość substancji chemicznych, nie jest łatwa do korozji i erozji oraz może utrzymać stabilną wydajność podczas procesu litografii.

o Wysoka siła adsorpcji: Przyssawka do litografii z węglika krzemu wykorzystuje specjalną technologię adsorpcji, która może mocno adsorbować płytki krzemowe, aby zapewnić, że nie będą się przesuwać ani wstrząsać podczas procesu litografii, zapewniając dokładność i stabilność litografii.

3, uchwyt wykrywający

Uchwyt do wykrywania węglika krzemu może zapewnić płynny postęp procesu wykrywania, poprawiając w ten sposób jakość produkcji układów scalonych. Jednocześnie żywotność uchwytu do wykrywania węglika krzemu jest długa, co może obniżyć koszty produkcji i koszty konserwacji oraz poprawić ogólne korzyści ekonomiczne.

4, Precyzyjna platforma ruchu

Precyzyjna platforma ruchowa z węglika krzemu odgrywa ważną rolę w różnych dziedzinach produkcji i przetwarzania o wysokiej precyzji. Może dostarczać rozwiązania w zakresie sterowania ruchem o wysokiej precyzji i stabilności do przetwarzania półprzewodników, produkcji optycznej, nanotechnologii i innych dziedzin w celu poprawy jakości produktu i wydajności produkcji.

Główne cechy platformy precyzyjnego ruchu z węglika krzemu obejmują:

o Wysoka precyzja: ceramika z węglika krzemu ma wyjątkowo wysoką twardość i dokładność, co może spełnić wysokie wymagania dotyczące precyzji platformy ruchu oraz zapewnić stabilność i dokładność platformy podczas ruchu.

o Wysoka stabilność: Ceramika z węglika krzemu ma wysoką stabilność termiczną i niski współczynnik rozszerzalności cieplnej, co może utrzymać stabilną pracę w wysokiej temperaturze i trudnych warunkach, zmniejszyć deformacje wymiarowe i błąd termiczny oraz zapewnić długoterminową stabilność platformy.

o Lekkość: Ceramika z węglika krzemu ma niską gęstość i wysoką wytrzymałość, co pozwala na realizację lekkiej konstrukcji platformy, zmniejszenie bezwładności ruchu, zmniejszenie obciążenia silnika oraz poprawę dynamiki i przyspieszenia platformy.

o Wysoka odporność na zużycie: Ceramika z węglika krzemu ma doskonałą odporność na zużycie, jest odporna na szybkie ruchy i zużycie przy dużych obciążeniach, wydłużając żywotność platformy.

5,Części z węglika krzemu o wysokiej czystości do ogniw trawiących 

W procesie trawienia kluczową rolę odgrywają składniki z węglika krzemu o wysokiej czystości. Węglik krzemu o wysokiej czystości ma doskonałe właściwości fizyczne i chemiczne, takie jak wysoka twardość, wysoka stabilność termiczna, dobra stabilność chemiczna i niska reaktywność, co czyni go idealnym materiałem do sprzętu do trawienia.

Kluczową rolę odgrywają części z węglika krzemu o wysokiej czystości. Węglik krzemu o wysokiej czystości ma doskonałe właściwości fizyczne i chemiczne, takie jak wysoka twardość, wysoka stabilność termiczna, dobra stabilność chemiczna i niska reaktywność, co czyni go idealnym materiałem do sprzętu do trawienia.

W sprzęcie do trawienia plazmowego węglik krzemu o wysokiej czystości jest często używany do produkcji kluczowych komponentów, takich jak pierścienie ogniskujące, głowice natryskowe gazowe, palety, pierścienie krawędziowe, trawione wgłębienia, trawione dysze gazowe itp. Komponenty te odgrywają istotną rolę w procesie trawienia , takie jak pierścień ogniskujący zapewniający równomierny rozkład plazmy, głowica natryskowa gazowa do precyzyjnej kontroli wtrysku gazu, tacka i pierścień krawędziowy do podparcia i stabilizacji wytrawianej płytki.

Części z węglika krzemu o wysokiej czystości wykazują dobrą stabilność w środowisku zawierającym gaz trawiący chlor i fluor, a ich niska reaktywność może skutecznie zmniejszyć korozję i uszkodzenia sprzętu podczas procesu trawienia. Ponadto węglik krzemu o wysokiej czystości ma również przewodność elektryczną podobną do krzemu, co pozwala mu skutecznie przewodzić prąd podczas procesu trawienia, zapewniając jednolitość i konsystencję trawienia.

Wraz z ciągłym postępem w produkcji układów scalonych wymagania dotyczące technologii trawienia stają się coraz wyższe. Komponenty z węglika krzemu o wysokiej czystości, charakteryzujące się doskonałą wydajnością i stabilnością, są jednym z kluczy do spełnienia tych wymagań. Wraz z ciągłym rozwojem technologii zastosowanie w procesie trawienia węglika krzemu o wysokiej czystości będzie coraz szersze.

6, Precyzyjny system ruchu podczas kontroli opakowań

W przypadku szybkiego i precyzyjnego sterowania ruchem wysoka twardość i niskie tarcie ceramiki z węglika krzemu może zmniejszyć zużycie i tarcie oraz poprawić stabilność i żywotność systemu. Jednocześnie w procesie kontroli opakowania zmiana temperatury może mieć wpływ na precyzyjny układ ruchu, a zastosowanie ceramiki z węglika krzemu może skutecznie ograniczyć ten wpływ oraz poprawić niezawodność i stabilność układu.

Precyzyjny system ruchu z ceramiki z węglika krzemu w łączniku do pakowania i testowania obejmuje kluczowe elementy, takie jak szyna prowadząca, łożysko i blok ślizgowy. Dokładność produkcji i wydajność tych komponentów bezpośrednio wpływają na stabilność i dokładność całego układu ruchu. Dlatego też kluczowa jest również technologia precyzyjnego przetwarzania i technologia obróbki powierzchni ceramiki z węglika krzemu.

Ceramikę z węglika krzemu wykorzystuje się także w precyzyjnych systemach ruchu w procesie kontroli opakowania produkcyjnego, np. podczas wyrównywania i dopasowywania podczas pakowania chipów.

Ceramika z węglika krzemu odgrywa ważną rolę w precyzyjnym systemie kontroli opakowań. Wraz z ciągłym postępem technologii i poszerzaniem obszarów zastosowań, zastosowanie ceramiki z węglika krzemu w precyzyjnych układach ruchu będzie coraz szersze.

TECHNOLOGIE FOUNTYL PTE. SP. Z O.O. jest nowoczesnym przedsiębiorstwem w dziedzinie zaawansowanej ceramiki, zajmującej się badaniami i rozwojem, produkcją i sprzedażą jako jednym, produkującym głównie porowatą ceramikę, tlenek glinu, tlenek cyrkonu, azotek krzemu, węglik krzemu, azotek glinu, mikrofalową ceramikę dielektryczną i inne zaawansowane materiały ceramiczne. nasz specjalnie zaproszony japoński ekspert ds. technologii ma ponad 30-letnie doświadczenie w branży półprzewodników, skutecznie dostarcza specjalne rozwiązania ceramiczne charakteryzujące się odpornością na zużycie, odpornością na korozję, odpornością na wysoką temperaturę, wysoką przewodnością cieplną oraz izolacją dla klientów krajowych i zagranicznych.