مربع بیم او لارښود ریل د الټرا دقیق حرکت پلیټ فارم او کشف تجهیزاتو لپاره
د مثال په توګه د ویکیوم چک اسمبلۍ په پام کې نیولو سره، هغه مواد چې په لومړیو 2 انچو او 4 انچو ویفر دور کې کارول شوي د الوتنې المونیم دی، مګر دا د لویې اندازې په دوره کې د الټرا - لوړ فلیټ (د 1 مایکرون څخه غوره) له خنډ سره مخ شوی. wafers (8 "او له 8" څخه ډیر)، کوم چې نشي کولی د الټرا - لوړ فلیټیشن سخت شاخص پوره کړي او له مینځه ویسي. بیا، د لیږد په توګه د المینا مواد، د هغې لچک لرونکي ماډل، سپک وزن، د تودوخې چلونکي او د توسع کولو کوفینټ او سیلیکون کاربایډ ډورف، مګر په ځینو شرمناکو کې نه؛ د لوی اندازې او پیچلي ځانګړي شکل خولی جوړښت سیلیکون کاربایډ سیرامیکونو چمتو کولو ټیکنالوژۍ کې د پرمختګ وروسته ، اجزا په شمول د الټرا دقیق ورک پیس بیس ، د الټرا دقیق هوایی فلوټ لارښود ، او د ویفر لیږد بازه پرمختللي شوي.
نه یوازې پورته ذکر شوي سیلیکون کاربایډ سیرامیک برخې چې د سیمیکمډکټر صنعت کې د ویفر ډیفیوژن ، ډوپینګ ، ایچنګ پروسو لپاره اړین د لوړ پاک سیلیکون کاربایډ سیرامیک برخو لپاره د فلیټ ، موازي ، او عمودی خورا لوړ دقیق سخت شاخصونه پوره کوي. ، په ځانګړي توګه د لوړ پاکوالي CVDSiC موادو چمتو کولو ټیکنالوژۍ کې ، د بالغ پروسې ټیکنالوژي لري ، او د لوړ پاکوالي سیلیکون کاربایډ سیرامیک کریسټال کښتۍ ، سیلیکون کاربایډ سیرامیک بیرینګ پلیټ ، سیلیکون کاربایډ سیرامیک هوا تیرولو حرکت پلیټ فارم ، سیلیکون کاربایډ الټرا تولید احساس کړی. - دقیق حرکت کولو پلیټ فارم، د سیلیکون کاربایډ لارښود ریل، د سیلیکون کاربایډ سلایډ ریل برخې.
په راتلونکي کې، موږ به د سیمیکمډکټر صنعت کې د سیلیکون کاربایډ موادو غوښتنلیک نور هم پراخ کړو او د سیمیکمډکټر صنعت سلسلې او سیلیکون کاربایډ سیرامیک صنعت لوړولو کې به مرسته وکړو. د چین دقیق سیلیکون کاربایډ سیرامیک اجزاو خپلواکه څیړنه او د کورني غوښتنلیک وده اوس پیل شوې ، د سیمیکمډکټر صنعت قوي پرمختګ سره ، د دې ډول لوړ پای سیرامیک جوړښت لپاره د بازار غوښتنه به ورځ تر بلې پراخه شي ، سیلیکون کاربایډ د دې عالي فزیکي او عالي فزیکي او کیمیاوي ملکیتونه، د سیمیکمډکټر صنعت کې د پراخ غوښتنلیک امکانات لري.
د سیلیکون کاربایډ سیرامیکونه نه یوازې د خونې په تودوخې کې عالي میخانیکي ملکیتونه لري ، لکه د لوړ زنګ ځواک ، غوره اکسیډریشن مقاومت ، د ښه سنکنرن مقاومت ، د لوړ پوښ مقاومت او ټیټ رګ کمیت ، بلکه د تودوخې لوړ میخانیکي ملکیتونه (قوت ، کریپ مقاومت ، او نور) ترټولو غوره پیژندل شوي سیرامیک مواد دي. د سیلیکون کاربایډ ځانګړتیاوې لري چې د مقاومت مقاومت، د لوړې تودوخې مقاومت، لوړ ځواک، ښه حرارتي چالکتیا، د اغیزو مقاومت ... او داسې نور.
د ورک پیس میز جوړښت لپاره د لیتوګرافي ماشین اړتیاوې: الټرا سپک وزن (د حرکت انارشیا کمول ، د موټرو بار کمول) ، خورا لوړ ثبات (الټرا - دقیق ماشین لوړ دقیق حرکت او موقعیت ته اړتیا لري ، د حرارتي توسعې لږترلږه ابعادي تخریب ته اړتیا لري او نور عوامل )، پاکوالی (لوړ سختۍ او لوړ پوښاک مقاومت)، دا کولی شي د لوی اندازې تخنیکي اړتیاوې پوره کړي، پتلی دیوال، پیچلي جوړښت او دقیق سیلیکون کاربایډ ساختماني برخې د انټیګریټ سرکټ تولید کلیدي تجهیزاتو لپاره چې د فوتوګرافي ماشین لخوا استازیتوب کیږي.
د فوټیل وړتیاوې
اعظمي اندازه:1600mm.
د جوړښت اصلاح:د لږ وزن جوړښت، د وزن جوړښت کمولو لپاره ډیزاین کیدی شي.
لوړ دقت:فلیټس د 5 مایکرون یا حتی لوړ دقت دننه کنټرول کیدی شي.