Introdução à aplicação de cerâmicas de precisão semicondutoras

A cerâmica avançada é a base de toda a indústria de semicondutores. Como a cerâmica tem as vantagens de alta dureza, alto módulo de elasticidade, alta resistência ao desgaste, alto isolamento, resistência à corrosão, baixa expansão... etc., ela pode ser usada como peças de máquina de polimento de silício, equipamento de tratamento térmico epitaxial/oxidação/difusão , máquina de litografia, equipamento de deposição, equipamento de gravação de semicondutores, máquina de implantação iônica. Dispositivos semicondutores requerem um grande número de componentes cerâmicos de precisão. As cerâmicas de equipamentos semicondutores incluem alumina, zircônia, nitreto de silício, nitreto de alumínio, carboneto de silício, óxido de ítrio... etc. Nos equipamentos semicondutores, o valor das cerâmicas de precisão representa cerca de 16%. Os equipamentos semicondutores são o principal suporte da cadeia da indústria de semicondutores e a pedra angular da fabricação de semicondutores, e o último relatório SEMI prevê que as vendas globais de equipamentos semicondutores serão de US$ 87 bilhões em 2023 para US$ 87,4 bilhões, e serão recuperadas para US$ 100 bilhões em 2024.

Com o desenvolvimento vigoroso da indústria nacional de semicondutores, as fundições de wafer construíram fábricas no Sudeste Asiático, o que levou à melhoria dos materiais e equipamentos semicondutores de suporte, à alocação de recursos da cadeia de suprimentos estrangeira para a inclinação doméstica, mas também ao surgimento de muitos excelentes locais fabricantes de equipamentos semicondutores, seguindo a tendência de desenvolvimento nacional, a demanda por peças cerâmicas de precisão para equipamentos semicondutores aumentará.

Devido à sua posição e importância em equipamentos semicondutores, as peças cerâmicas avançadas devem atender aos requisitos abrangentes de desempenho de equipamentos semicondutores para materiais em mecânica mecânica, resistência térmica, dielétrica, ácida e alcalina e corrosão plasmática, e requisitos de alta precisão, porque as peças cerâmicas em semicondutores os equipamentos geralmente ficam próximos ao wafer e alguns até entram em contato direto com o wafer. Portanto, o controle de íons metálicos e partículas em sua superfície é extremamente rigoroso. Além disso, como a produção de componentes cerâmicos para dispositivos semicondutores envolve certificação de fabricante de equipamento original, portanto, pertence à indústria com alto limiar de exclusividade. Além disso, na área de embalagem e teste de semicondutores, materiais cerâmicos também podem ser usados ​​em revestimentos de embalagem de dispositivos semicondutores de potência e cartões de sondas de teste.

A cadeia da indústria de cerâmica semicondutora inclui processamento de wafer semicondutor, dispositivos semicondutores de potência, embalagem e teste de empresas de aplicação downstream; Equipamento de litografia, equipamento de difusão de oxidação, equipamento de gravação, equipamento de gravação a seco, equipamento de implantação iônica, equipamento de deposição de filme, equipamento PVD, equipamento CVD, equipamento de deposição de camada atômica (ALD), equipamento de polimento químico-mecânico, equipamento de recozimento a laser de equipamentos semicondutores de última geração empreendimentos; Equipamento de preparação de pó, misturador, lixadeira, máquina de três rolos, equipamento de granulação por spray, máquina de moldagem por injeção, máquina de fundição, equipamento de laminação, equipamento de prensagem a seco, moldagem de reboco, equipamento de prensagem isostática, equipamento de serigrafia, desengorduramento, equipamento de sinterização, CNC, fresadora, equipamento de polimento, equipamento de jateamento de areia, equipamento de brasagem a vácuo, fixação de ferramentas de equipamentos de produção e empresas de acessórios; Peças cerâmicas (braço de manuseio, mandril eletrostático, aquecedor cerâmico, anel de revestimento, bico, câmara, cartão de sonda, lasca cerâmica... etc.), cerâmica de alumina, cerâmica porosa, cerâmica de zircônia, cerâmica de nitreto de alumínio, cerâmica de nitreto de silício, carboneto de silício cerâmica, cerâmica de alumínio e carboneto de silício... etc.