Cerâmica de carboneto de silício usada em equipamentos de fabricação de semicondutores/circuitos integrados

A cerâmica de carboneto de silício desempenha um papel importante em equipamentos de fabricação de semicondutores/circuitos integrados devido às suas propriedades físicas e químicas únicas. No entanto, deve-se notar que, atualmente, a pesquisa, o desenvolvimento e a aplicação de peças estruturais cerâmicas de precisão para equipamentos de núcleo de circuito integrado estão concentrados principalmente nos Estados Unidos, Japão, Europa e outros lugares, e ainda estão em uma posição de monopólio absoluto. . Portanto, a China ainda precisa de mais pesquisas e avanços em materiais cerâmicos de carboneto de silício e tecnologia de preparação relacionada.

1, Gmandril de moagem e polimento

No processo de produção do mandril de polimento de carboneto de silício, o material cerâmico de carboneto de silício é processado no formato do mandril e por meio de tratamento de processo especial, para que sua superfície tenha excelentes propriedades de retificação e polimento. Quando usado, o mandril retifica e lustra a superfície da peça absorvendo a superfície da peça, usando a dureza e a nitidez da cerâmica de carboneto de silício para remover impurezas como rebarbas e óxidos na superfície e melhorar o acabamento e a precisão do superfície da peça de trabalho.

As principais características do mandril de retificação e polimento de carboneto de silício incluem:

o Alta dureza: as cerâmicas de carboneto de silício possuem dureza extremamente elevada, perdendo apenas para o diamante, podendo realizar com eficácia operações de retificação e polimento para remover defeitos e irregularidades na superfície do material.

o Alta resistência ao desgaste: A alta dureza da cerâmica de carboneto de silício também traz boa resistência ao desgaste, o que pode manter um pequeno desgaste durante o longo processo de retificação e polimento e melhorar a vida útil da ferramenta.

o Alta estabilidade térmica: A cerâmica de carboneto de silício tem alta estabilidade térmica e baixo coeficiente de expansão térmica, pode manter um desempenho estável em ambiente de alta temperatura, adequada para operações de retificação e polimento em alta temperatura.

o Boa estabilidade química: a cerâmica de carboneto de silício tem boa estabilidade à maioria das substâncias químicas, não é fácil de ser corroída e corroída e pode manter um desempenho estável em uma variedade de ambientes.

2, mandril litográfico

O mandril de litografia de carboneto de silício desempenha um papel importante no processo de fabricação de circuitos integrados. Ele pode fornecer fixação e suporte de wafer de silício estável e de alta precisão para garantir o progresso suave do processo de litografia, melhorando assim a eficiência de fabricação e a qualidade dos circuitos integrados.

Deve-se notar que o mandril de litografia de carboneto de silício é um componente chave na fabricação de circuitos integrados e sua tecnologia de fabricação e requisitos de precisão são muito elevados. Atualmente, apenas algumas empresas estrangeiras podem fabricar mandris litográficos para atender aos requisitos da fabricação de circuitos integrados, e a tecnologia e os produtos da China nesta área precisam ser mais desenvolvidos e melhorados.

As principais características do mandril de litografia de carboneto de silício incluem:

o alta precisão: a cerâmica de carboneto de silício tem dureza e precisão extremamente altas, o que pode atender aos requisitos de fixação e suporte de alta precisão dos wafers de silício no processo de fabricação de circuitos integrados.

o Alta estabilidade: A cerâmica de carboneto de silício possui alta estabilidade térmica e baixo coeficiente de expansão térmica, o que pode manter um tamanho e forma estáveis ​​durante o processo de litografia para evitar afetar a precisão da litografia.

o Boa estabilidade química: a cerâmica de carboneto de silício tem boa estabilidade à maioria das substâncias químicas, não é fácil de ser corroída e corroída e pode manter um desempenho estável durante o processo de litografia.

o Alta força de adsorção: o sugador de litografia de carboneto de silício adota tecnologia de adsorção especial, que pode adsorver firmemente wafers de silício para garantir que não se desloque ou agite durante o processo de litografia, garantindo a precisão e estabilidade da litografia.

3, mandril de detecção

o mandril de detecção de carboneto de silício pode garantir o bom andamento do processo de detecção, melhorando assim a qualidade de fabricação de circuitos integrados. Ao mesmo tempo, a vida útil do mandril de detecção de carboneto de silício é longa, o que pode reduzir os custos de fabricação e de manutenção e melhorar os benefícios econômicos gerais.

4, plataforma de movimento de precisão

A plataforma de movimento de precisão de carboneto de silício desempenha um papel importante em vários campos de fabricação e processamento de alta precisão. Ela pode fornecer soluções de controle de movimento de alta precisão e estabilidade para processamento de semicondutores, fabricação óptica, nanotecnologia e outros campos para melhorar a qualidade do produto e a eficiência da produção.

As principais características da plataforma de movimento de precisão de carboneto de silício incluem:

o Alta precisão: a cerâmica de carboneto de silício possui dureza e precisão extremamente altas, o que pode atender aos requisitos de alta precisão da plataforma de movimento e garantir a estabilidade e precisão da plataforma durante o movimento.

o Alta estabilidade: a cerâmica de carboneto de silício tem alta estabilidade térmica e baixo coeficiente de expansão térmica, o que pode manter um desempenho estável em altas temperaturas e ambientes adversos, reduzir a deformação dimensional e o erro térmico e garantir a estabilidade a longo prazo da plataforma.

o Leve: a cerâmica de carboneto de silício tem baixa densidade e alta resistência, o que pode realizar o design leve da plataforma, reduzir a inércia do movimento, reduzir a carga do motor e melhorar a resposta dinâmica e a aceleração da plataforma.

o Alta resistência ao desgaste: a cerâmica de carboneto de silício tem excelente resistência ao desgaste, pode resistir ao movimento em alta velocidade e ao desgaste de carga pesada, prolongando a vida útil da plataforma.

5,Peças de carboneto de silício de alta pureza para elos de gravação 

No processo de gravação, os componentes de carboneto de silício de alta pureza desempenham um papel fundamental. O carboneto de silício de alta pureza possui excelentes propriedades físicas e químicas, como alta dureza, alta estabilidade térmica, boa estabilidade química e baixa reatividade, o que o torna um material ideal para equipamentos de gravação.

peças de carboneto de silício de alta pureza desempenham um papel fundamental. O carboneto de silício de alta pureza possui excelentes propriedades físicas e químicas, como alta dureza, alta estabilidade térmica, boa estabilidade química e baixa reatividade, o que o torna um material ideal para equipamentos de gravação.

Em equipamentos de gravação a plasma, o carboneto de silício de alta pureza é frequentemente usado para fabricar componentes-chave, como anéis de foco, cabeças de pulverização de gás, paletes, anéis de borda, cavidades gravadas, bicos de gás gravado, etc. , como o anel de foco para garantir a distribuição uniforme do plasma, a cabeça de pulverização de gás para controlar com precisão a injeção de gás, a bandeja e o anel de borda para apoiar e estabilizar o wafer a ser gravado.

Peças de carboneto de silício de alta pureza apresentam boa estabilidade em ambientes contendo gás de gravação com cloro e flúor, e sua baixa reatividade pode efetivamente reduzir a corrosão e danos ao equipamento durante o processo de gravação. Além disso, o carboneto de silício de alta pureza também possui uma condutividade elétrica semelhante à do silício, o que lhe permite conduzir efetivamente a corrente durante o processo de gravação, garantindo a uniformidade e consistência da gravação.

Com o progresso contínuo da fabricação de circuitos integrados, os requisitos para a tecnologia de gravação estão se tornando cada vez maiores. Componentes de carboneto de silício de alta pureza, com excelente desempenho e estabilidade, são uma das chaves para atender a esses requisitos. Com o desenvolvimento contínuo da tecnologia, a aplicação de carboneto de silício de alta pureza no processo de gravação será cada vez mais extensa.

6, sistema de movimento de precisão na inspeção de pacotes

No controle de movimento de alta velocidade e alta precisão, a alta dureza e o baixo atrito da cerâmica de carboneto de silício podem reduzir o desgaste e o atrito e melhorar a estabilidade e a vida útil do sistema. Ao mesmo tempo, no processo de inspeção de embalagens, a mudança de temperatura pode ter um impacto no sistema de movimento de precisão, e a aplicação de cerâmica de carboneto de silício pode efetivamente reduzir esse impacto e melhorar a confiabilidade e estabilidade do sistema.

O sistema de movimento de precisão da cerâmica de carboneto de silício na embalagem e no link de teste inclui os principais componentes, como trilho-guia, rolamento e bloco deslizante. A precisão de fabricação e o desempenho desses componentes afetam diretamente a estabilidade e a precisão de todo o sistema de movimento. Portanto, a tecnologia de processamento de alta precisão e a tecnologia de tratamento de superfície da cerâmica de carboneto de silício também são cruciais.

As cerâmicas de carboneto de silício também são usadas para sistemas de movimento de precisão no processo de inspeção de embalagens de fabricação, como alinhamento e encaixe durante o empacotamento de chips.

A cerâmica de carboneto de silício desempenha um papel importante no sistema de movimento de precisão de inspeção de embalagens. Com o progresso contínuo da tecnologia e a expansão dos campos de aplicação, a aplicação da cerâmica de carboneto de silício em sistemas de movimento de precisão será cada vez mais extensa.

FOUNTYL TECHNOLOGIES PTE. LTD. é uma empresa moderna no campo de cerâmica avançada que define P&D, fabricação e vendas como uma só, produz principalmente cerâmica porosa, alumina, zircônia, nitreto de silício, carboneto de silício, nitreto de alumínio, cerâmica dielétrica de micro-ondas e outros materiais cerâmicos avançados. nosso especialista em tecnologia japonês especialmente convidado tem mais de 30 anos de experiência na indústria no campo de semicondutores, fornecendo eficientemente soluções especiais de aplicação de cerâmica com resistência ao desgaste, resistência à corrosão, resistência a altas temperaturas, alta condutividade térmica, isolamento para clientes nacionais e estrangeiros.